Häufige Probleme bei PECVD-Geräten: Der Druck in der Reaktionskammer ist instabil

Häufige Probleme bei PECVD-Geräten: Der Druck in der Reaktionskammer ist instabil

(1) Überprüfen Sie, ob der Faltenbalg des Vakuumsystems des Geräts Risse aufweist.

(2) Überprüfen Sie, ob der Gasdurchflussmesser normal ist.

(3) Überprüfen Sie manuell, ob der Drosselklappenschalter normal ist.

(4) Die Vakuumpumpe ist abnormal und das Vakuummessgerät wird verwendet, um zu messen, ob die Sauggeschwindigkeit der Vakuumpumpe normal ist.

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