Zu den Faktoren, die die Qualität des PECVD-Prozesses beeinflussen, gehören hauptsächlich die folgenden Aspekte
Jul 06, 2023| Bei der Auswahl des Pad-Abstands im PECVD-Hohlraum sollten zwei Faktoren berücksichtigt werden:
(1) Beleuchtungsspannung: Durch die Wahl des Abstands sollte die Beleuchtungsspannung so niedrig wie möglich sein, um das Plasmapotential zu verringern und die Beschädigung des Substrats zu verringern.
(2) Plattenabstand und Luftdruck im Hohlraum: Wenn der Plattenabstand groß ist, ist die Beschädigung des Substrats gering, aber der Abstand sollte nicht zu groß sein, da sonst der Randeffekt des elektrischen Feldes zunimmt und die Gleichmäßigkeit beeinträchtigt wird Ablage. Die Größe der Reaktionskammer kann die Produktivität steigern, hat aber auch Auswirkungen auf die Gleichmäßigkeit der Dicke.
IKS PVD-Unternehmen, dekorative Beschichtungsmaschine, Werkzeugbeschichtungsmaschine, DLC-Beschichtungsmaschine, optische Beschichtungsmaschine, PVD-Vakuumbeschichtungslinie, das schlüsselfertige Projekt ist verfügbar. Kontaktieren Sie uns jetzt, E-Mail: iks.pvd@foxmail.com
