Lösungen für häufige Probleme im Magnetron-Sputterprozess
Sep 08, 2022| Lösungen für häufige Probleme im Magnetron-Sputterprozess
Magnetronsputtern, ein PVD-Verfahren (Physical Vapour Deposition), ist das wichtigste Verfahren zur Dünnschichtabscheidung zur Herstellung von Halbleitern, Festplatten, CDS und optischen Geräten. Im Folgenden sind häufige Probleme beim Magnetronsputtern aufgeführt. Wir haben die möglichen Ursachen und zugehörigen Lösungen als Referenz aufgelistet.
● Problem eins: Film grau schwarz oder dunkel
Problem zwei: Die Oberfläche der Folie ist matt und matt
Problem drei: Die Filmfarbe ist nicht einheitlich
● Problem vier: Falten, Risse
Problem fünf: Die Oberfläche der Folie weist Wasserzeichen, Fingerabdrücke und graue Partikel auf
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