Arten und Eigenschaften von CVD-Geräten
Nov 10, 2022| Arten und Eigenschaften von CVD-Geräten
Es gibt viele Methoden der chemischen Gasphasenabscheidung, wie z. B. chemische Gasphasenabscheidung bei Atmosphärendruck (APCVD), chemische Gasphasenabscheidung bei niedrigem Druck (LPCVD), chemische Gasphasenabscheidung im Ultrahochvakuum (UHVCVD) und laserinduzierte chemische Gasphasenabscheidung (LCVD). , metallorganische chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD), plasmachemische Gasphasenabscheidung (PECVD) usw.
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