Mass-Flow-Meter
D07 - 7KM Masse Durchflussmesser Einführung der mass-Flow-Meter (MFC) aus drei Grundgeräten besteht: Durchflusssensor, Fluss-Splitter Bypass und Leiterplatte, er misst genau Massenströme trotz Gasvolumen aufgrund von Temperaturänderungen schwankte. Die MFC ist weit in den Bereichen angewendet...
- Produkteinführung
Einführung
Die mass-Flow-Meter (MFC) besteht aus drei Grundgeräten: Durchflusssensor, Fluss-Splitter Bypass und Leiterplatte, er misst genau Massenströme trotz Gasvolumen aufgrund von Temperaturänderungen schwankte. Die MFC ist weit in den Bereichen Halbleiter und IC-Fertigung, spezielle Materialwissenschaft, chemische Industrie, öligen Industrie, Pharmaindustrie, Klimaschützen, Vakuumsystem forschen, etc. angewendet.
Typische Anwendung
Typische Anwendungsbereiche von MFC mikroelektronischen Prozessanlagen wie Diffusion, Oxidation, Epitaxie, CVD, Plasma, Radierung, Sputtern, Ionen-Implantation und anderen Bereichen wie Vakuum Ablagerung Ausrüstung, optische Faser schmilzt, Mikro-Reaktion Ausrüstung, mischen & passenden Gasanlage, Kapillare Flow-Control-System, Gaschromatographen und anderen analytischen Instrumenten.
D07 - 7KM MFC hat die Vorteile von hoher Präzision, lange Lebensdauer, hervorragende Wiederholgenauigkeit, schnelle Reaktion, Softstart, gute Zuverlässigkeit, breiten Betriebsbereich Druck (gute Betrieb bei hohem Druck oder Vakuum Situation), einfache und komfortable Bedienung, Etc. Es kann installiert werden, wo immer nötig und mit dem Computer verbunden, automatische Steuerung zu realisieren.
Spezifikation
Reicht von Flow | (20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1, 2, 3, 5, 10) SLM |
Genauigkeit | ±1.5%F.S |
Linearität | ±1%F.S |
Wiederholgenauigkeit | ±0.2%F.S |
Reaktionszeit | ≤4 sec |
Temperaturkoeffizient | Null: ≤±0.1%F.S./℃;Span: ≤±0.2%F.S./℃ |
Max. Druck | 3MPa |
Betriebstemperatur | 5℃ ~ 45℃ |
Dichtungsmaterial | Viton, Neopren |
Einstellung/Ausgangssignal | 0V ~ + 5.00V (Eingang Impedanz > 100K, Ausgabe Current≤3ma) |
Stromversorgung | + 15V 50mA -15V 50mA |
Elektrischer Anschluss | D-sub 15-polig weiblich |
Differenzdruck | < 0,01=""> |
Leckrate | 1 × 10-8atm•cc / s er (1 × 10 9 Pa•m3/Sec er) |
Standard-Joint | SwagelokΦ8, SwagelokΦ6, SwagelokΦ3, Swagelok1/8 ", φ4 (innere) × 1 Schlauch Kupplung, VCR1/4", Swagelok1/4", φ6 (inneren) × 1 Schlauch Koppler |
Medien | Alle Gas |
EMI | CE |
Gewicht | 0,92 kg |
Einbau-Dimension
