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IKS-OPT2700 ist für die großflächige Beschichtung optischer Filme konzipiert. Es handelt sich um eine Elektronenstrahl-Verdampfungsbeschichtungsmaschine. Das Beschichtungsmaschinensystem besteht aus Vakuumkammer, Vakuumpumpe, Vakuumerkennung und -steuerung, Substratheizsystem, Elektronenstrahlverdampfungssystem, Ionenquellen-unterstütztem Abscheidungssystem, Widerstandsverdampfungssystem, Schichtdickenüberwachungssystem, Arbeitsgasvolumenstromregelungssystem, Arbeit Stückrotationssystem und automatische Beschichtung, die von einer SPS gesteuert wird. Das Verdampfungsmaterial wird üblicherweise aus seltenen Metallen wie YF3 (Yttriumfluorid), F3Pr (Praseodymfluorid), Ge (Germanium), ZnS (Zinksulfid), MgF2 (Magnesiumfluorid) verwendet. TiO2 (Titandioxid), SiO2 (Siliziumdioxid), ZrO2 (Zirkonoxid), Co (Kobalt), Ga (Gallium), Se (Selen) und andere Metalle. Cu (Kupfer), Mo (Molybdän), Si (Silizium), Ge (Germanium) und andere Metalle werden üblicherweise in den optischen Materialien von Reflektoren verwendet. Es kann Farbfilme für sichtbares Licht, reflektierende Aluminiumfilme, AF-Anti-Fingerabdruck-Filme beschichten , organischer Film mit niedrigem Schmelzpunkt, spektroskopischer Film für sichtbares Licht, Antireflexionsfilm für sichtbares Licht usw

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Produkteinführung

Ausstattungsmerkmale

1. Produktdesign von perfectIKSTechnologie und Produktleistung nahtlose Docking-Integration, um zuverlässige, stabile zu schaffen

Festes, sicheres, intelligentes Beschichtungssystem!

2.Vakuumerfassung, neu optimiertes Design des Vakuumerfassungssystems, um der schnellen und stabilen Vakuumumgebung gerecht zu werden!

3. Verdampfungsquelle und Ionenquelle, angemessenes Layout und hochwertige Verarbeitungstechnologie, Inbetriebnahmetechnologie, um den Prozess zu erreichen Automatische Anpassung, innovative Struktur des Elektronenstrahls und genaue Geschwindigkeit garantieren eine genauere und stabilere Materialabscheidung!

4.Automatisches Betriebskontrollsystem, die Neuentwicklung eines genauen und stabilen Systems! Einfache Einrichtung, einfache Bedienung!

AusrüstungParameter

Kammergröße	Ф2700×H1670mm,10.5m³	Karussell	2650*H420mm
Vakuumgrad	Endvakuum: 6×10^-4Pa (Nr24 Stunden ohne Heizung laden)	Gewicht	8000 kg, Bodengewicht﹥1000kg/m²
Leckrate	＜4×10^-3Pa×L/S (Helium-Leckprüfung)	Temperatur	Bei Raumtemperatur bis 250 Grad beträgt die Temperaturgleichmäßigkeit ±5 Prozent
Arbeitsvakuum	6×10^-3Pa(Automatischer Prozessstart)	Energieversorgung	Dreiphasig, 380 V,50Hz,60-100KW
Niedriges Vakuum	10 Minuten＜10Pa	Wasserkühlen	Der Fluss vonKammer＞4000L/H,Der Fluss vonPumpe＞1800L/H,Der Fluss von Gefrierschrank＞1600L/H
Hochvakuum	6 Minuten＜8×10^-3Pa	Warmes Wasser	Verdunstungsquelle1800L/H, 35-60 Grad
Vakuummessung	Überwachung des gesamten Prozesses und Erfassung von Punkten in Echtzeit	Bodenfläche	L6×w5.5×H3.5m
Anwendung	Brille,reflektierendSpiegel, Handy Rückwand, schützend Abdeckung, optische Kommunikation, optische Anzeige usw

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