Kompatible Vakuummeter und Kontroller CDG045D 0,05 ~ 1000Torr / Mbar

EINFÜHRUNG INFICON SKY CDG045D Manometer sind die beste Wahl für eine hochgenaue Gesamtdruckmessung und -kontrolle. CDG045D Messgeräte sind temperaturgesteuert bei 45 ° C für eine hervorragende Signalstabilität und Wiederholbarkeit. Sie sind für den gesamten Bereich von 50 mTorr bis 1000 Torr, mit ...

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Produkteinführung

EINFÜHRUNG

INFICON SKY CDG045D Manometer sind die beste Wahl für eine hochgenaue Gesamtdruckmessung und -kontrolle. CDG045D Messgeräte sind temperaturgesteuert bei 45 ° C für eine hervorragende Signalstabilität und Wiederholbarkeit. Sie sind für den gesamten Messbereich von 50 mTorr bis 1000 Torr mit allen gängigen Flanschtypen und Feldbusschnittstellen erhältlich und liefern ein lineares, gasartunabhängiges Drucksignal von 0 bis 10 V. INFICON Kapazitätsmanometer verwenden eine ultra-reine Aluminiumoxidkeramikmembran, die korrosionsbeständig ist. Die Vorteile des Keramiksensors sind eine bessere Signalstabilität, schnellere Erholung von der Atmosphäre, kurze Aufwärmzeit und eine außergewöhnliche Lebensdauer. INFICON CDG sind hochwertige, kostengünstige Drucksensoren für anspruchsvolle Vakuumanwendungen.

Die Kapazitiv-Membrandruckmessgeräte INFICON SKY CDG045D sind ein direkter Ersatz für die Oerlikon Leybold CTR 101 Sender. Holen Sie sich das Original vom Hersteller mit weltweitem Support und Lösungen für alle Anwendungen.

LEISTUNGEN

◆ Vollständig kompatibel mit CTR 101 Sendern

◆ Geringere CoO (Cost of Ownership), 50% schnelleres Aufwärmen, energieeffizienter niedriger Stromverbrauch

◆ Einfache Integration, große Auswahl an Vollskalen , Flanschen und Schnittstellen, Standard mit zwei Sollwerten

◆ Einfacher Druckknopf- oder Fernsignalnullbefehl , null Offset justierbar

◆ Diagnoseanschluss für schnellen Service und Wartung

◆ Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit fortschrittlichem Heizkonzept und Überdruckschutz

◆ Keine langfristige Rekalibrierung aufgrund der ausgezeichneten Signalstabilität und Reproduzierbarkeit, selbst in rauen Plasmaanwendungen

◆ Übereinstimmung und Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

TYPISCHE ANWENDUNGEN

◆ Ätzen , CVD, PVD und andere Halbleiterproduktionsprozesse

◆ Chemische und korrosive Vakuumprozesse

◆ Allgemeine Dünnschicht- und Vakuumprozesse

◆ Referenzsensor zur Überwachung von Prüfgeräten nach internationalen Standards

◆ Übertragungsstandard für Rückführbarkeitsmessungen

SPEZIFIKATION

Art		1000 Torr, 1100 mbar	500 ... 1 Torr / mbar	0,5 ... 0,05 Torr / mbar
Richtigkeit	% des Lesens	0,15	0,15	0,15
Temperatureffekt
auf Null	Prozent FS / ° C	0,0025	0,0025	0,0025
auf Spannweite	% des Lesewerts / ° C	0,01	0,01	0,01
Auflösung	Prozent FS	0,003	0,003	0,003
Druck, max.	kPa (absolut)	400	260	130
Niedrigste Lesung	Prozent FS	0,01	0,01	0,01
Niedrigste vorgeschlagen lesen	Prozent FS	0,05	0,05	0,05
Niedrigste vorgeschlagen Steuerdruck	Prozent FS	0.5	0.5	0.5
Temperatur
Betrieb (Umgebungs)	° C	+10 ... +40	+10 ... +40	+10 ... +40
Ausbacken am Flansch	° C	≤110	≤110	≤110
Lager	° C	-20 ... +65	-20 ... +65	-20 ... +65
Versorgungsspannung		+14 ... +30 VDC oder ± 15 V (± 5%)	+14 ... +30 VDC oder ± 15 V (± 5%)	+14 ... +30 VDC oder ± 15 V (± 5%)
Energieverbrauch
Während des Aufheizens	W	≤12	≤12	≤12
Bei Betriebstemperatur	W	≤8	≤8	≤8
Ausgangssignal (analog)	V (dc)	0 ... +10	0 ... +10	0 ... +10
Reaktionszeit	Frau	30	30	130/30
Schutzgrad		IP 40	IP 40	IP 40
Standards
CE-Konformität		EN 61000-6-2 / -6-3, EN 61010 und RoHS	EN 61000-6-2 / -6-3, EN 61010 und RoHS	EN 61000-6-2 / -6-3, EN 61010 und RoHS
ETL-Zertifizierung		UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1	UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1	UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1
SEMI-Konformität		SEMI S2	SEMI S2	SEMI S2
Elektrischer Anschluss		D-Sub, 15- polig, männlich	D-Sub, 15- polig, männlich	D-Sub, 15- polig, männlich
Sollwert
Anzahl der Sollwerte		2 (SP1, SP2)	2 (SP1, SP2)	2 (SP1, SP2)
Relaiskontakt	V (dc)	≤30	≤30	≤30
Hysterese	Prozent FS	1	1	1
Diagnoseanschluss
Protokoll		RS232-C	RS232-C	RS232-C
Lesen		Druck, Status, ID	Druck, Status, ID	Druck, Status, ID
einstellen		Sollwerte, Filter, Null einstellen, Werkseinstellung, DC-Offset	Sollwerte, Filter, Null einstellen, Werkseinstellung, DC-Offset	Sollwerte, Filter, Null einstellen, Werkseinstellung, DC-Offset
Materialien ausgesetzt Vakuum		Aluminiumoxid-Keramik (AI2O3), Edelstahl (AISI 316L)	Aluminiumoxid- Keramik (AI 2 O 3 ), Edelstahl (AISI 316L )	Aluminiumoxid- Keramik (AI 2 O 3 ), Edelstahl (AISI 316L )
Interne Lautstärke
1/2 '' Röhre	cm³ (in.³)	4,2 (0,26)
DN 16 ISO KF	cm³ (in.³)	4,2 (0,26)
DN 16 CF-R	cm³ (in.³)	4,2 (0,26)
8 VCR®	cm³ (in.³)	4,2 (0,26)

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