Was ist die Struktur der Vakuumbeschichtungsausrüstung?
Nov 08, 2017| Vakuumbeschichtungsgeräte sind die am häufigsten verwendeten Geräte, um Vakuumbedingungen herzustellen. Es ist weit verbreitet. Heute kann unser Leben nicht davon getrennt werden. Heute werden wir seine Struktur und Arbeitsweise sehen.
Vakuum Hauptkörper Vakuum Hohlraum
Nach den Anforderungen der verschiedenen Produkte, Kammern von verschiedenen Größen, jetzt mit einem maximalen Durchmesser von 1,3M, Anwendung von 0,9M, 1,5M, 1,8M usw., besteht die Kammer aus Edelstahl, nicht Rost, fest, jeder Teil der Vakuumkammer ist mit dem Ventil verbunden, verwendet, um die Saugpumpe zu verbinden.
Zwei. Filmbildendes Kontrollsystem
Es gibt viele Anwendungsmethoden des Dünnschichtmonitors in der Vakuumbeschichtungsmaschine, wie visuelle Überwachungsmethode, Festwertüberwachung, Kristalloszillationsüberwachung, Zeitüberwachung und so weiter.
Drei. Hilfspumpsystem
Das Abgassystem verwendet die Zusammensetzung "Diffusionspumpe + mechanische Pumpe + Wälzkolbenpumpe + kryogene Kühlfalle + Polykarbonat".
Vier. Verdampfungssystem
Das Verdampfungssystem bezieht sich hauptsächlich auf die Filmbildungsvorrichtung, und die Beschichtungsmaschine weist viele Filmbildungsvorrichtungen auf, wie beispielsweise Widerstandserwärmung, Elektronenkanonenverdampfung, Magnetronsputtern, HF-Sputtern, Ionenplattieren und andere Arten.
Eine komplette Vakuumbeschichtungsmaschine besteht aus einer Anzahl von Systemen, jedes System kann verschiedene Funktionen ausführen, es ist diese Strukturen, die endgültige Realisierung von hochwertigen Beschichtungen.