Waferprozess: Vakuumbeschichtungstechnologie

Wafer-Prozess: Vakuumbeschichtungstechnologie

Chips sind die Kernkomponenten von Mobiltelefonen. Sowohl das iPhone 14 als auch das iPhone 14 Plus verwenden den A15 Bionic-Chip mit einem Fünfkern-Grafikprozessor. Das iPhone 14 Pro nutzt den A16-Prozessor, der die neueste N4P-Technologie von TSMC nutzt und über 16 Milliarden Transistoren verfügt. Verbesserungen bei Energieeffizienz, Anzeige und Kameraleistung.

Der Chipherstellungsprozess ist so komplex, dass die folgenden Schritte unter Vakuum durchgeführt werden müssen:
Abscheidung: PVD (Physical Vapour Deposition), PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition), SACVD (Atmospheric Pressure Chemical Vapour Deposition), LPCVD (Low Pressure Chemical Vapour Deposition) und ALD (Atomic Layer Deposition) werden zur Abscheidung des Materials verwendet auf der Wafer.
Selektives Entfernen von Material von Wafern;
Ionenimplantation: Dotieren der Siliziumwaferoberfläche mit Ionen, um die elektrischen Eigenschaften des Materials zu verändern und die Leitfähigkeit des Geräts zu erhöhen;
Wafer-Handling: Der Wafer wird durch das Transfermodul vom Bearbeitungsraum A zum Bearbeitungsraum B transportiert.
Graphistik ist ein Schema, das Muster definiert und sie auf jede Ebene des Geräts überträgt. Es wird in Ultraviolett-UV-Lithographie und EUV-Lithographie unterteilt.
Darüber hinaus ist die Hilfe von Vakuumdosier- und Vakuumleckerkennungstechnologie erforderlich, um die Vakuumintegrität der Produktionsanlage von der Prozesskammer bis zum Absaugsystem sicherzustellen.

Natürlich gibt es noch viele weitere Einsatzmöglichkeiten der Vakuumtechnik in der Mobiltelefonproduktion. Das iPhone 14 verfügt beispielsweise über den stärksten Akku aller Zeiten, das einzigartige Porzellankristall-Panel des iPhones, verschiedene iPhone-Zubehörteile und sogar die allgegenwärtige Schutzfolie, für deren Herstellung alles Vakuumtechnologie erfordert.
Also kein Vakuum, kein iPhone 14. Die Vakuumtechnologie ermöglicht es uns, das Glück und den Komfort der Technologie zu genießen.

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