Typische Art des Vakuumsystems

Das System, das früher bestimmte Prozessanforderungen erfüllte und in der Lage ist, das spezifische erforderliche Vakuum zu erhalten und zu messen, wird als Vakuumsystem bezeichnet. Ein vollständigeres Vakuumsystem besteht aus einer Vakuumkammer, einer erforderlichen Vakuumpumpe oder Vakuumeinheit, einem Vakuummessgerät, einer Verbindungsleitung, einem Vakuumventil, einer Falle und anderen Vakuumkomponenten und einem elektrischen Steuerungssystem. Ein typisches Vakuumsystem ist in Abb.1 und Abb.2 dargestellt.

1. Vakuumkammer-Entlüftungsventil 2. Ionisationsvakuummessgerät 3. Thermoelement-Vakuummessgerät 4. Durchflussregelventil

5. Hochvakuumventil 6. Diffusionspumpe 7. Gasspeicher

8. Thermoelementanzeige (misst den Vorstufendruck der Diffusionspumpe) 9. Rückhalteventil 10. Drucksensor

11. Vorpumpventil 12. Wälzkolbenpumpe 13. Bypassventil 14. Elektromagnetisches Entlüftungsventil

15. Mechanische Vakuumpumpe

Abb.1 Schematische Darstellung eines typischen Vakuumsystems

1. Vakuumkammer 2. Ionisationsvakuummessgerät 3. Thermoelement-Vakuummessgerät 4. Ablassventil

5. Hochvakuumventil 6. Kühlfalle 7. Diffusionspumpe 8. Rückstauventil 9. Elektromagnetisches Entlüftungsventil

10. Mechanische Vakuumpumpe 11 Vorpumpventil

Abb. 2 Schema eines typischen Vakuumsystems