Struktur des Widerstands-Vakuummessgeräts (Pirani-Vakuummessgerät)

Das Widerstands-Vakuummessgerät, das auch als Pirani-Messgerät bekannt ist, spiegelt die Druckänderungen basierend auf den Änderungen des Heizwiderstands wider. Es besteht hauptsächlich aus Mess- und Messkreisen. Der Messbereich liegt bei 104 bis 10-1 Pa.

Die Struktur des Widerstandsmessers ist in Abbildung 1 dargestellt. Ein zylindrischer Spiralwärmendraht, der mit einem Widerstanddraht mit hohem Temperaturkoeffizienten umwickelt ist, ist in dem Reglergehäuse eingekapselt. Beide Enden des Hitzdrahts sind aus dem Messrohr herausgeführt und verbinden die Messleitung. Die Messschale kann aus Metall oder Glas bestehen. Die Metallhülle hat die Vorteile der Haltbarkeit, des bequemen Entfernens heißer Filamente usw. Die Nachteile sind eine schlechte Dichtungsleistung und ein hoher Preis. Die Glasschale hat die Vorteile einer guten Dichtungsleistung und eines niedrigen Preises, und der Nachteil ist, dass sie leicht beschädigt wird.

Der Widerstandstemperaturkoeffizient und der spezifische Widerstand einiger Widerstandsdrähte, die den Heizdraht umwickeln, sind in Tabelle 4-1 gezeigt, unter denen üblicherweise Wolfram, Platin und Nickel verwendet werden. Um die Arbeitsstabilität des Hitzdrahts zu gewährleisten, wird zusätzlich zur Reinigung der Oberfläche des Hitzdrahtes manchmal eine dünne Schicht aus Glas, Quarz oder Tantal auf die Oberfläche des Hitzdrahts aufgebracht, um eine Oxidation oder Kontamination des heißen Drahtes zu vermeiden Draht, wenn es unter hohem Druck verwendet wird. Es wird jedoch angenommen, dass diese Methode ihre thermische Trägheit erhöht.

Metall: Wolfram Platin Nickel Chromium Iridium Molybdän Eisen Kupfer Silber

Widerstandstemperatur

Koeffizient in 0 ℃ 4,82 3,9 6,0 2,5 4,1 4,71 6,0 4,3 4,29

(10 ^-3 · ℃ ^-1 )

Widerstand in 0 ℃ 5,1 9,2-9,6 6,84 12,9 4,85 5,71 9,7 1,67 1,59

px10 ^-8 (Ω · m)

Tabelle 4-1 Widerstandstemperaturkoeffizient und spezifischer Widerstand einiger Metalle