Struktur und schematisches Diagramm der molekularen Pumpe

Die Kernkomponenten der Molekularpumpe sind rotierende und stationäre Rotorblätter (Abbildung 1). Die Rotationsgeschwindigkeit des rotierenden Blattes erreicht 1800 bis 90000 U / min, die Geschwindigkeit an der Blattspitze erreicht mehrere hundert Meter pro Sekunde, was nahe an der durchschnittlichen Geschwindigkeit des Moleküls liegt. Und Gasmoleküle werden durch Kollision mit dem Abgasanschluss transportiert. Wenn die rotierende Schaufel so eingestellt ist, dass sie sich mit hoher Geschwindigkeit dreht, ist die Wahrscheinlichkeit, dass sich die Gasmoleküle von der Saugseite zur Abgasseite bewegen, A und die Wahrscheinlichkeit, dass sich die Gasmoleküle von der Abgasseite zur Saugseite bewegen B. Die rotierende Schaufel trifft auf die Gasmoleküle, dann treffen die Gasmoleküle auf die feststehende Schaufel und fliegen zur nächsten rotierenden Schaufel, schließlich wird das Gasmolekül in die Auspufföffnung ausgestoßen, wodurch A> B wird, um die Auspufffunktion zu erreichen.

Abzugsgeschwindigkeit der Molekularpumpe = Öffnungsbereich der Saugseite × 11,6 × A / Bp

In der Formel bezieht sich p auf den Anstiegswert des Drucks.

Je größer der Winkel der Schaufel ist, desto höher ist die Ausströmgeschwindigkeit des Verdichtungsverhältnisses. Wenn der Winkel der Schaufel klein ist, ist die Abgasgeschwindigkeit niedrig und das Verdichtungsverhältnis ist groß. Die Abgasgeschwindigkeit der Molekularpumpe wird durch den Gastyp nahezu nicht beeinflusst, und der Enddruck der Pumpe kann 10-8 Pa betragen, aber die Geschwindigkeit des Abgases wird für leichte Moleküle / Atome reduziert.

Als eine Art mechanische Pumpe mit hoher Rotationsgeschwindigkeit erfordert die Molekularpumpe eine hohe Balance und ist gegenüber festen Fremdstoffen sehr empfindlich. Daher wird normalerweise ein Metallfilter am Einlass installiert. Wenn die Molekularpumpe arbeitet, können die Klingen beschädigt werden, wenn sich der Druck plötzlich verschlechtert.

Abb.1 Struktur und schematische Darstellung einer Molekularpumpe

Herkömmliche Molekularpumpen verwenden Lager, um eine Hochgeschwindigkeitsrotation der Schaufeln sicherzustellen. Aber die neue Art molekulare Pumpe nimmt magnetische levitation Struktur an, die die Geschwindigkeit der Klinge fortwährend erhöht, und zur gleichen Zeit ist die molekulare Pumpe für das ultra-hohe Vakuumsystem geeigneter, verlängert sie auch die Nutzungsdauer des Molekularpumpe.

Im Vergleich zu ölgedichteten Drehschieberpumpen und Turbo-Trockenpumpen haben Molekularpumpen eine sauberere Arbeitsumgebung und können extrem hohe Vakuumniveaus erreichen. Molekularpumpen können jedoch nicht bei Atmosphärendruck arbeiten und müssen in Kombination mit anderen Vakuumpumpen (ölgedichtete Drehschieberpumpen oder Turbotrockenpumpen) verwendet werden, die bei Atmosphärendruck betrieben werden können. Die Molekularpumpe hat eine komplizierte Struktur und einen hohen Preis, und während der Hochgeschwindigkeitsrotation gibt es Vibrationen.