Strukturelles Prinzip des Thermoelement-Vakuummessgeräts

Thermoelement-Vakuummessgerät misst die Temperaturänderung des Heizdrahtes mittels Thermoelement. Und das vom Thermoelement erzeugte thermoelektrische Potential charakterisiert den Druck im Messgerät. Der Druckmessbereich des DL-3-Thermoelement-Messgeräts beträgt 102 bis 10-1 Pa.

Das Strukturdiagramm des Thermoelement-Vakuummessgeräts ist in Abbildung 1 dargestellt. Es besteht aus einem Thermoelement-Messgerät und Messkreisen. Die Thermoelementanzeige besteht hauptsächlich aus Heizdraht und Thermoelement. Das heiße Ende des Thermoelements ist mit dem heißen Draht verbunden, und das andere Ende wird als kaltes Ende verwendet und über das Leitungsdrahtauslassrohr mit einem Millivoltmeter zum Messen des Thermoelementpotentials verbunden. Messschaltung ist relativ einfach.

Während der Messung, der Der Hitzdraht des Sensors bekommt einen bestimmten Heizstrom. Bei niedrigeren Drücken ( λ ≥ r2) wird das Thermoelementpotential E durch den Druck p in der Meßeinrichtung bestimmt, da die Temperaturänderung des Heizfadens von der Wärmeleitung des Gases abhängt. Wenn der Druck abnimmt, nimmt die von den Gasmolekülen geführte Wärmemenge ab, und die Temperatur des Hitzdrahts steigt entsprechend an. Infolgedessen erhöht sich das Thermoelementpotential E. Sonst sinkt das Thermoelementpotential E.

Die Änderung des Heizstroms des Messgerätes beeinflusst sowohl die Empfindlichkeit als auch den Messbereich. Wenn der Heizstrom ansteigt, steigt die Regelempfindlichkeit und der höhere Druck kann gemessen werden, aber der Messbereich wird enger. Wenn andererseits der Heizstrom abnimmt, nimmt die Regelempfindlichkeit ab und es kann nur ein niedrigerer Druck gemessen werden, aber der Messbereich ist größer.

Wenn der Heizstrom konstant ist, wenn der Zusammenhang zwischen dem Thermoelementpotential E und dem Druck p im voraus gemessen wurde, kann der Druck des zu testenden Systems direkt entsprechend der Angabe des Millivoltmeters bestimmt werden.