Reaktionsmechanismen von CVD

CVD kann unter Verwendung verschiedener Arten von Reaktionsmechanismen durchgeführt werden, wie z. B. thermische CVD, plasmaunterstützte CVD und lichtunterstützte CVD. Jeder Mechanismus hat seine Vor- und Nachteile, und die Wahl des Mechanismus hängt von den gewünschten Eigenschaften und Anwendungen der Folie ab.
Bei einem Heiß-CVD wird das Vorläufergas auf hohe Temperaturen erhitzt, um die chemische Reaktion zur Abscheidung eines festen Films auf dem Substrat zu fördern. Bei der plasmaunterstützten CVD wird das Vorläufergas ionisiert, um Plasma zu erzeugen, das chemische Reaktionen fördert und die Abscheidungsraten erhöht. Bei einer photoverstärkten CVD wird das Vorläufergas mit ultraviolettem Licht bestrahlt, um eine chemische Reaktion zu fördern.

IKS PVD-Unternehmen, dekorative Beschichtungsmaschine, Werkzeugbeschichtungsmaschine, DLC-Beschichtungsmaschine, optische Beschichtungsmaschine, PVD-Vakuumbeschichtungslinie, das schlüsselfertige Projekt ist verfügbar. Kontaktieren Sie uns jetzt, E-Mail: iks.pvd@foxmail.com