PVD-Vakuum-Beschichtungsanlage

PVD-Vakuumbeschichtungsmaschine Bedienungsanleitung

Inbetriebnahme

1. Prüfen Sie, ob die Wasserstraße entsperrt ist, und überprüfen Sie, ob der Kühlturm und die Radikalpumpe normal funktionieren (der Wasserdruck sollte über 0,4 MPa liegen).

2. Prüfen Sie, ob der Luftpfad frei ist, und überprüfen Sie, ob der Luftkompressor normal arbeitet (der Luftdruck sollte 0,5 MPa erreichen).

3. Schalten Sie den Netzschalter ein, schalten Sie den Schalter "Start" und "Pumpe beibehalten" ein. Wenn der Thermoelementmesswert des Vakuummeters unter 10 Pa liegt, schalten Sie die vier Schalter des Diffusionspumpen-Temperaturreglers 1 ein. 2 "und" Diffusionspumpe 1, 2 ". Das heißt, die Diffusionspumpe heizt (ca. 1 Stunde).

4. Wenn die Aufheizzeit ca. 10 Minuten beträgt, starten Sie die Niedertemperaturfalle. Drücken Sie nach der Abkühlzeit von 6 Minuten die Taste F1, um die Niedertemperaturfalle zu starten. Wenn die eingestellte Temperatur am Temperaturregler erreicht ist, kann der normale Produktionsbetrieb ausgeführt werden.

Produktion und Betrieb

1. Vergewissern Sie sich, dass das Filmmaterial, der Ionenquellenfilament und der Werkstückrahmen in der Vakuumkammer wie erforderlich angeordnet sind.

2. Schalten Sie die "Grobpumpe" ein, schalten Sie das Automatikgetriebe des Entlüftungsgeräts auf das Automatikgetriebe ein, schalten Sie den Schalter "Automatisches Entlüftungsgerät" ein und warten Sie, bis die Tür der Vakuumkammer geschlossen ist.

3. Wenn die Wurzelpumpe automatisch startet, drücken Sie die Niedertemperaturfalle "F2", um die Kühlfunktion der Falle zu starten.

4. Diese Operation sollte sich von dem Prozess unterscheiden und es gibt wesentliche Änderungen, hier ist keine detaillierte Beschreibung, das heißt.

5. Der Prozess ist abgeschlossen, schließen Sie die Pistole, die Ionenquelle (muss XianGui Zero-Filament-Stromfluss und schließen Sie dann die Stromversorgung), wie z. B. den Schalter, öffnen Sie den automatischen Luftschalter, nachdem das feine Saugventil geschlossen wurde, die automatische Entnahme Handschalter auf manuell (hier zusätzlich zu der erforderlichen Benachrichtigung zur Wartung der Pumpe, Diffusionspumpe, Pumpen, der vier Kofferraumschalter wird gedrückt, der andere drückt niemals den Schalter, um Fehler durch Diffusionspumpe zu vermeiden, die der Atmosphäre ausgesetzt ist!) Drücken Sie die Falle F3, um die Temperaturrückkehrfunktion einzuschalten. Wenn die Temperatur der Tieftemperaturfalle auf mehr als 30 Grad Celsius ansteigt, öffnen Sie das "Füllventil". Wenn sich die Tür der Vakuumkammer öffnet, schließen Sie das "Füllventil". (Hinweis: Es ist strengstens verboten, "automatische Luftabsaugung" mit "automatische Luftaufladung" zu verwechseln.)

6. Der obige Zyklus ist der normale Betriebsablauf.

schließen

1. Schließen Sie die Vakuumkammertür auf ein bestimmtes Vakuum und schließen Sie alle Schalter außer dem Schalter "Stopp".

2. Die Stromversorgung, der Luftkompressor, der Kühlturm und die Radikalpumpe können erst ausgeschaltet werden, wenn die Vakuumbeschichtungsmaschine eine Stunde lang abgekühlt ist.

Hinweis: Alle oben genannten Vorgänge müssen streng ausgeführt werden und können nicht ohne Erlaubnis geändert werden. Wenn die Beschichtungsmaschine durch unsachgemäße Bedienung beschädigt oder beeinträchtigt wird, trägt der Betreiber die entsprechende Verantwortung.

Achtung: Es gibt viele Hochspannungstransformatoren in dieser Maschine, die Spannung beträgt bis zu 8 kV. Um Sicherheitsunfälle zu vermeiden, öffnen Sie die Abschirmklappe unter dem Schaltschrank und der Vakuumkammer nicht ohne Erlaubnis.

Anmerkung: Obige Bedienungsanleitung kann nicht für alle PVD-Beschichtungsmaschinen verwendet werden. Wenn Sie Fragen zur PVD-Vakuumbeschichtungstechnologie haben, wenden Sie sich jetzt an IKS PVD. E-Mail: iks.pvd@foxmail.com