Häufige Probleme und Behandlungsmaßnahmen bei PECVD-Geräten – Nichtglühen
Jul 01, 2023| Ursachen und Behandlungsmaßnahmen bei fehlendem Glühen:
(1) Wenn die HF-Stromversorgung fehlerhaft ist, prüfen Sie, ob die Ausgangsleistung der HF-Quelle normal ist.
(2) Das Reaktionsgas-Einlassvolumen ist klein. Überprüfen Sie, ob der Gasdurchflussmesser normal ist. Wenn dies normal ist, erhöhen Sie das Einlassvolumen für den Test.
(3) Die Sauberkeit der Hohlraumplatte reicht nicht aus. Verwenden Sie ein Multimeter, um den Erdungswiderstand der oberen und unteren Platten des Hohlraums zu messen. Der Normalwert sollte über mehreren zehn Megaohm liegen. Bei Abweichungen reinigen Sie die Hohlraumplatte.
(4) Wenn die HF-Anpassungsschaltung fehlerhaft ist, prüfen Sie, ob die reflektierte Leistung der HF-Quelle im normalen Bereich liegt. Wenn es abnormal ist, prüfen Sie, ob der Kondensator und die Induktivität im Anpassungskreis beschädigt sind.
(5) Der Vakuumgrad ist zu schlecht. Überprüfen Sie, ob der Vakuumgrad der Kavität normal ist.
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