Haupteigenschaften der DLC-Beschichtung -mechanische Eigenschaften
Aug 11, 2021| Haupteigenschaften der DLC-Beschichtung -Mechanische Eigenschaften
A.Härte und Elastizitätsmodul. Die Härte und der Elastizitätsmodul von DLC-Folien, die mit verschiedenen Abscheidemethoden hergestellt werden, variieren stark. Die Härte von DLC-Filmen kann die von Diamant durch magnetische Filterkathodenlichtbogenmethode erreichen oder sogar übertreffen, und die maximale Härte von DLC-Filmen, die mit der Kathodenlichtbogenmethode hergestellt werden, kann mehr als 50 GPa erreichen. Die Härte von DLC-Filmen, die von einer Ionenquelle in Kombination mit dem Nichtgleichgewichts-Magnetron-Sputtern hergestellt wurden, erreichte 21 GPa. Die Zusammensetzung in der Filmschicht hat einen gewissen Einfluss auf die Härte der Filmschicht, und die Einarbeitung von Si und N kann die Härte des DLC-Films verbessern. DLC-Folie hat einen hohen Elastizitätsmodul, der niedriger ist als der von Diamant (1100GPa), aber deutlich höher als der von allgemeinen Metallen und Keramiken.
B. Innere Spannung und Bindungsfestigkeit. Die innere Spannung und Die Haftfestigkeit der Folie sind zwei wichtige Faktoren, die die Stabilität und Lebensdauer der Folie bestimmen und die Leistung der Folie beeinflussen. Die DLC-Folie mit hoher innerer Spannung und geringer Haftfestigkeit neigt dazu, in der Anwendung zu reißen, zu falten oder sogar abzufallen, so dass die vorbereitete DLC-Folie eine moderate Druckspannung und eine hohe Klebefestigkeit aufweisen sollte. Die meisten Studien zeigen, dass die Film-Base-Bindungsfestigkeit von DLC-Film, der direkt auf der Matrix abgeschieden wird, im Allgemeinen relativ gering ist. Die Zwischengradientenübergangsschicht Ti/TiN/TiCN/TiC wird übernommen, um die Bindungsfestigkeit von DLC-Film und Matrix zu verbessern. Die Haftfestigkeit der auf dem Werkzeugstahl abgeschiedenen DLC-Folie erreicht 44N-74N. Die Gesamtdicke der Membran kann 5 Mikrometer erreichen.
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