Hauptpunkte der Magnetron Sputtering Coating

Hauptpunkte der Magnetron-Sputterbeschichtung
Magnetron-Sputtern ist eine Abscheidungstechnik mit gasförmigem Plasma. Das Plasmagas wird erzeugt und in einem Raum eingeengt, der das zu deponiere Material enthält. Die Oberfläche des Sputterziels wird durch hochenergetische Ionen im Plasma erodiert, und die freigesetzten Atome passieren die Vakuumumgebung und lagern sich auf dem Substrat ab, um dünne Filme zu bilden.

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