Verwendung und Wartung der Multi-Arc-Vakuum-Vakuum-Beschichtungsanlage

Verwendung und Wartung der Vakuum - Beschichtungsanlage mit Magnetfeldsteuerung mit mehreren Lichtbogen

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Das Funktionsprinzip einer Vakuumbeschichtungsmaschine ist die Bogenentladung und die Glimmentladung im Vakuumzustand. Die Oberfläche eines metallischen und nichtmetallischen Werkstücks ist mit Gold-Titannitrid, schwarzem Titancarbid, buntem Titannitrid usw. plattiert. Außerdem kann ein Korrosionsschutzfilm (wie z. B. AL, Cr-Edelstahl und TiN usw.) plattiert werden -resistente Folie, Filmschicht und Basis der festen Kombination, geeignet für Uhren, Eisenwaren, Keramik und Schleifen von ultraharten Werkzeugen, Formen usw. mit guten Aussichten für die Entwicklung.

Wichtige Punkte für den Einsatz und die Wartung einer Mehrfachbogen-Magnetbeschichtungsmaschine:

Vor dem Gebrauch sollten sich alle Netzschalter und Bedienknöpfe in der getrennten Position befinden, um Wasser, Luft und Strom anzuschließen.

1) Schalten Sie den Vakuumschalter ein.

2) Öffnen Sie die Wartungspumpe, um das Vakuum der Diffusionspumpe zu senken, und messen Sie den Vakuumgrad vor der Stufe.

3) Öffnen Sie die Diffusionspumpe zum Heizen, nachdem der Druck der ersten Stufe 5,0 * 10pa erreicht hat.

4) Öffnen Sie das Beschickungsventil, blasen Sie die Beschichtungskammer auf, öffnen Sie die Beschichtungskammertür, installieren Sie das saubere Werkstück und schließen Sie die Ofentür.

5) Nachdem die Diffusionspumpe eine Stunde lang normal funktioniert, öffnen Sie die mechanische Pumpe, öffnen Sie das Vorpumpventil und saugen Sie die Vakuumkammer manuell auf 1,0 * 103pa auf, dann die Cairo-Pumpe.

6) Wenn der Druck 3,0 * 10 pa erreicht, schließen Sie das Vorpumpventil und öffnen Sie das vordere Ventil. Hochventil öffnen, Hochvakuum an der Beschichtungskammer.

7) Wenn der Vakuumkammerdruck 8 * 10-3pa erreicht, beginnen Sie mit dem Drehen, und beginnen Sie mit dem Aufheizen auf den eingestellten Wert.

8) Starten Sie den Beschichtungsvorgang.

9) Ende des Beschichtungsvorgangs.

10) senken Sie die Ofentemperatur auf unter 100 ° C, öffnen Sie die Ofentür des Ladeventils, um das Werkstück herauszunehmen, und reinigen Sie den Ofen, bevor Sie den Ofen verwenden.

11) Nach einem Arbeitsgang sollte der Staubsauger im Beschichtungsraum mit einem Staubsauger gereinigt werden, um einen Kurzschluss oder eine Verschmutzung des Vakuumsystems zu vermeiden.

12) nach einer gewissen Zeit die Blende zur Reinigung entfernen.