Filmwachstumsraten bei ALD

Die Filmwachstumsraten bei ALD sind normalerweise langsam und reichen von einigen Angström pro Sekunde bis zu einigen Nanometern pro Minute, abhängig von der Art des Vorläufers, der Substrattemperatur und dem Druck. Die langsame Wachstumsrate ermöglicht eine präzise Steuerung der Filmdicke und -zusammensetzung, bedeutet aber auch, dass der Abscheidungsprozess sehr zeitaufwändig sein kann und umfangreiche Zyklen erfordern kann, um die gewünschte Dicke zu erreichen.

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