Merkmale der Vakuumverdampfungsbeschichtung

Merkmale der Vakuumverdampfungsbeschichtung:
Vorteile: Die Ausrüstung ist einfach und leicht zu bedienen, der hergestellte Film ist von hoher Reinheit und guter Qualität, die Dicke kann genauer gesteuert werden, die Filmbildungsrate ist schnell, die Effizienz ist hoch, der Filmwachstumsmechanismus ist einfach.
Nachteile: Der auf der Substrathaftung gebildete Film ist klein, die Prozesswiederholbarkeit ist nicht gut genug, es ist schwierig, die Kristallstruktur des Films zu erhalten.

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