Electron Beam Verdunstungssysteme

Strahl und thermische Verdampfung Elektronensysteme. Planetarischen oder einfache Drehtische zählen Heizung, Temperaturen von über 950 ° C, je nach Substratgröße und Material. Ionenquellen für IBAD und Substrat Vorreinigung können auch Systeme integriert werden. Verdunstungssysteme verfügen über komplette Pumpstationen, manuelle oder Elektro-Pneumatische Ventile alle Vakuum-Manometer, einen stromverteilerkasten, Elektronische Zahnstangen, Wasser und Luft Mannigfaltigkeiten und Sicherheitssperren. Systeme können manuell oder per Computer-Steuerung betrieben werden. Substrat-Heizungen und Manipulatoren können für nicht standardmäßige Substrat Formen und Größen entworfen werden. Anwendungen umfassen grundlegende Materialforschung, sah Geräte, Silizium und GaAs Wafer-Metallisierung, MEMS oder Display-Technologie und mehr.

Viele Systemoptionen zur Verfügung, einschließlich einer breiten Palette von Elektronenstrahl und Wärmequellen, Netzteile, Integration der Ionenstrahl oder Magnetron Sputtern Quellen, RGA UHV-Fähigkeit, Multi-Wafer Schleusen und in-Situ-Monitore.