Mechanische Eigenschaften und Anwendungen von DLC
Jan 20, 2024| DLC Mechanische Eigenschaften und Anwendungen
DLC-Filme haben eine hohe Härte und einen hohen Elastizitätsmodul, und die Härte von DLC-Filmen, die durch verschiedene Abscheidungsmethoden hergestellt werden, ist sehr unterschiedlich, insbesondere die Härte von DLC-Filmen, die durch Lasersputtern oder Magnetfilter-Kathodenbogenverfahren hergestellt werden, beträgt bis zu 70-110 GPa, vergleichbar mit Diamant. Aufgrund der unterschiedlichen Herstellungsmethoden oder Abscheidungsprozessparameter und Zusammensetzung sind das sp3/sp2-Verhältnis und der Wasserstoffgehalt unterschiedlich, was sich auch auf die mechanischen Eigenschaften des Films auswirkt.
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