Lichtbogenentladung und Glimmentladung

Jan 16, 2023|

Bogenentladung und Glimmentladung.

Was sich in der PVD- und CVD-Tabelle nicht widerspiegelt, ist, dass sich im Beschichtungsraum eine große Anzahl geladener Teilchen befindet, da die Vakuumbeschichtungstechnologie hauptsächlich im Gasentladungsplasma durchgeführt wird, sodass jede Art von Beschichtungstechnologie geschickt elektrische und magnetische Technologien nutzt oder elektromagnetische Felder, um die Bewegung von Elektronen zu steuern, so dass Elektronen und mehr Gas, mehr Metallatome eine Kollisionsionisation erzeugen. Durch die Erhöhung der Plasmadichte im Beschichtungsraum und der Gesamtenergie der Filmpartikel ist es einfacher, zu reagieren und hoch abzuscheiden -Hochwertige Hartbeschichtungen.

Bei verschiedenen Ionenplattierungstechniken kollidiert ein Metall auf unelastische Weise mit hochenergetischen Elektronen im Entladungsraum. Die energiereichen Elektronen schlagen die äußersten Elektronen aus dem Atom heraus und bilden so Ionen. Außerdem verbinden sich die Ionen mit Elektronen zu Atomen und geben die bei der Ionisierung absorbierte Energie in Form von Photonen ab, die Licht aussenden. Je mehr Ionisierung, desto stärker ist die zusammengesetzte Lumineszenz. Die Raumlichtintensität der Bogenentladungsbeschichtung ist viel stärker als die Glimmentladung.

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