Anwendung und Betrieb von PVD-Vakuumbeschichtungsmaschinen
Feb 14, 2019| Anwendung und Betrieb einer PVD-Vakuumbeschichtungsmaschine
PVD-Vakuumbeschichtungsmaschine USESES und Betriebsverfahren, Vakuumbeschichtungsmaschine ist eine gebräuchliche Art von Beschichtungsmaschine. Sie bezieht sich auf eine Art Anforderung unter Hochvakuumbeschichtung, einschließlich vieler Varianten im Detail, einschließlich Vakuum-Ionentranspiration, Magnetronsputtern, MBE-Molekularstrahlepitaxie , PLD-Laser-Sputterakkumulation und viele andere Arten .
Die Verwendung einer PVD-Vakuumbeschichtungsmaschine
Die Transpirationsbeschichtung wird normalerweise durch das Zielmaterial erhitzt, um die Oberflächenkomponenten durch Atomgruppen oder Ionen zur Transpiration zu bringen. Darüber hinaus bildet die Ablagerung auf der Oberfläche des Substrats durch den Filmbildungsprozess einen dünnen Film (Streu-Insel-Struktur - Vagalstruktur - Schichtwachstum). Sputterbeschichtung kann einfach als die Verwendung von Elektronen oder Hochenergie-Laserbeschuss des Targetmaterials verstanden werden und das Zerstäuben der Oberflächenkomponenten in Atomgruppen oder Ionen bewirken und sich schließlich auf der Oberfläche des Substrats ansammeln und die Filmbildung erfahren verarbeiten und schließlich einen Film bilden.
Anwendungsbereich der PVD-Vakuumbeschichtungsmaschine
1. Bau-Hardware: Badezimmer-Hardware (wie z. B. Wasserhahn), Türschloss, Türgriff, Badezimmer, Hardware, Möbel usw.
2. Uhrenherstellung: Es kann für Gehäuse, Riemenbeschichtung und Kristallprodukte verwendet werden.
3. Andere hardware: leder hardware. Edelstahlgeschirr. Brillengestelle, Messer, Formen usw.
4. Großes Werkstück: Autoradnabe, Edelstahlplatte.
5. Edelstahlrohr und -platte (verschiedene Erscheinungsformen)
6. Möbel, Lampen und Laternen, Hotelgeräte.
7, Schloss, Griff, Bad-Hardware, Golf-Kopf, Edelstahl Geschirr, Blut und andere Hardware-Produkte überzogene super harte Dekoration Film.
8, Uhren, Uhrenarmbänder, Brillen, Schmuck Dekoration Produkte wie verschleißfeste Dekoration (Gold und Silber) plattierten Nanofilm und Nano Film und Nano laminiert Film.
Betrieb eines elektromechanischen Schaltschranks für eine PVD-Vakuumbeschichtungsmaschine
1. Wasserpumpe und Luftquelle öffnen.
2. Schalten Sie die Hauptstromversorgung ein.
3. Öffnen und warten Sie die Pumpe und die Stromversorgung des Vakuummeters. Das Vakuummeter feilt den Azimut V1 und wartet auf einen Wert unter 10, bevor Sie zum nächsten Vorgang wechseln. Es dauert ungefähr 5 Minuten.
4. Schalten Sie die mechanische Pumpe und den Vorpumpen ein, schalten Sie die Stromversorgung der Turbinen-Molekularpumpe ein und starten Sie sie. Schalten Sie das Vakuummeter in die Stellung V2 und stoppen Sie die Pumpe, bis sie weniger als 2 ist (ca. 20 Minuten).
5. Nachdem der Wert der Turbinen-Molekularpumpe 250 erreicht hat, schließen Sie die Pumpe, öffnen Sie die vordere Maschine und das Hochventil, um das Vakuum kontinuierlich zu pumpen. Erst wenn das Vakuum ein gewisses Maß erreicht, kann der Hochvakuummesskopf rechts geöffnet werden um den Vakuumgrad zu untersuchen. Erst wenn das Vakuum 2 x 10-3 erreicht, kann die Leistung der Elektronenkanone eingeschaltet werden.
Betrieb der PVD-Vakuumbeschichtungsmaschine
1. Allgemeine Stromversorgung.
2, mit Pistolensteuerung Ⅰ und Pistolensteuerung Ⅱ Leistung. Je nach Elektronenkanonensteuerung Ⅰ Stromversorgung, Verzögerungsschalter, Verzögerung, Stromversorgung und Wartungsleuchten, drei Minuten nach der Zeitverzögerung und Wartungsleuchten, wenn die hintere Tür nicht geschlossen ist oder wenn mit dem Durchflussrelais etwas nicht stimmt, wird dies normalerweise der Fall sein auf Wartung.
3, offene Hochspannung, Hochspannung erreicht mehr als 10KV, Konditionierungsstrahl auf 200mA herum, 20V / 100mA-Vorhanggitter, Heizfadenstrom 1.2a, Ablenkstrom zwischen 1 ~ 1,7 Schwung.
Ablauf der PVD-Vakuumbeschichtungsmaschine
1. Schalten Sie den Hochvakuummesskopf und die Molekularpumpe aus.
2. Wenn die Molekularpumpe 50 entwickelt ist, schließen Sie das Hochventil, die vordere Stufe und die mechanische Pumpe nacheinander. Dies dauert etwa 40 Minuten.
3. Schalten Sie die Wartungspumpe aus, wenn sie unter 50 liegt.
Das Obige ist die Einführung des Aufbringungs- und Betriebsverfahrens der Vakuumbeschichtungsmaschine.
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