Die Nomen-Erklärung zum Vakuum

Die Nomen-Erklärung zum Vakuum

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1. Definition des Vakuums

Ein Vakuumsystem ist ein dünnes Gasvolumen unterhalb des Atmosphärendrucks in der Umgebung.

2. Vakuumgrad

Der Dünnheitsgrad im Vakuum wird üblicherweise als "Hochvakuum" und "Niedrigvakuum" ausgedrückt. Ein Hochvakuum bedeutet gut und ein niedriges Vakuum bedeutet schlecht.

3. Vakuumeinheit

In der Regel wird Torr als Einheit verwendet, und in den letzten Jahren wird Pa international verwendet.

1 Halter = 1/760 Atmosphäre = 1 Millimeter Quecksilber

4. Transfer zwischen Tod und pa

1 Palette = 133.322 Paletten oder 1 Palette = 7,5 mal 10-3 Paletten

5. Durchschnittlicher freier Pfad

Die mittlere Entfernung, die zwei aufeinanderfolgende Kollisionen von Gasteilchen in unregelmäßigen thermischen Bewegungen zurücklegen, wird mit dem Symbol "Abfahrt" bezeichnet.

6. fluss

Die Gasmenge, die durch einen Abschnitt in der Zeiteinheit fließt, ausgedrückt als "Q", in Einheiten von Pa L / s (Pa L / s) oder Torr L / s (Torr L / s).

7. Flussführung

Es ist die Fähigkeit einer Vakuumrohrleitung, ein Gas zu passieren. Die Einheit ist Liter pro Sekunde (L / s), und im stationären Zustand ist der Rohrfluss gleich dem Rohrfluss geteilt durch die Druckdifferenz zwischen den beiden Enden des Rohrs. Das Symbol heißt U.

U = Q / (P2, P1)

8. Druck oder Druck

Die Kraft, die ein Gasmolekül pro Flächeneinheit der Behälterwand ausübt, wird als P ausgedrückt.

9. Normaler atmosphärischer Druck

Druck von 101325 Dain pro Quadratzentimeter, Symbol: (Atm).

10. Ultimatives Vakuum

Nachdem der Vakuumbehälter vollständig gepumpt ist, wird er bei einem bestimmten Vakuumgrad stabilisiert, der als Endvakuum bezeichnet wird. Normalerweise muss der Vakuumbehälter 12 Stunden an der Luft gereinigt und dann 12 Stunden vakuumiert werden. Die letzte Stunde wird alle 10 Minuten gemessen. Der durchschnittliche Wert von 10 wird als Vakuumgrenzwert verwendet.

11. Pumprate

Bei einem bestimmten Druck und einer bestimmten Temperatur wird das in Zeiteinheit vom Pumpeneinlass gepumpte Gas als Pumprate oder Pumprate bezeichnet. Sp = Q / (p-p0).

12. Thermoelement-Vakuummeter

Ein Vakuummeter wird verwendet, um den Vakuumgrad unter Verwendung des elektrischen Potentials des Thermoelements in Bezug auf die Temperatur des Heizelements und der Temperatur des Elements in Bezug auf die Wärmeleitung des Gases zu messen.

13. Ionisationsvakuummeter (Heißkathodenionisationsmanometer)

Es besteht aus einem röhrenförmigen Kollektorstab, einem Gitter und einem Filament, das sich in der Mitte des Gitters befindet. Der Rohrkollektor befindet sich außerhalb des Gitters. Elektronen-ionisierte Gasmoleküle, die mit heißer Kathode emittiert werden, werden vom Sammler entsprechend der Größe des gesammelten Ionenstroms gesammelt, um den Gasdruck des Vakuummeters zu messen.

14. Zusammengesetztes Vakuummeter

Bestehend aus einem Thermoelement-Vakuummeter und einem Heißkathoden-Ionisationsvakuummeter ist der Messbereich ~ 10-5 Pa.

15. Kaltkathoden-Ionisationsmessgerät

An beiden Enden der Anodenröhre befindet sich ein Paar Kathodenplatten. Unter der Wirkung eines äußeren Magnetfelds wird innerhalb der Anodenröhre eine Pannin-Entladung gebildet, um Ionen zu erzeugen, und der Vakuummeter für den Gasdruck wird gemäß der Größe des Ions bestimmt von der Kathodenplatte gesammelter Strom.

16. Widerstandsvakuummeter

Ein Vakuummeter, der den Vakuumgrad mittels einer Brückenschaltung misst, wobei das Prinzip verwendet wird, dass der Widerstand des Heizelements mit der Temperatur zusammenhängt und die Temperatur des Elements mit der Gasleitung zusammenhängt.

17. McLeod-Vakuummeter (komprimierter Vakuummeter)

Das zu messende Gas wird mit Quecksilber (oder Öl) auf ein sehr kleines Volumen komprimiert und dann mit der Flüssigkeitssäulendifferenz zwischen offenem und geschlossenem Rohr verglichen.

18 und B - A Messgerät

Dies ist ein Heißkathoden-Ionisationsmessgerät mit Kollektorumkehrung. Die Kollektorelektrode ist ein Filament, das in der Mitte des Gitters angeordnet ist, und das Filament wird außerhalb des Gitters platziert, wodurch der Einfluss von weicher Röntgenstrahlung reduziert wird.

19. Wasserringvakuumpumpe

Das Pumpenrad dreht sich, um einen Wasserring zu erzeugen. Es handelt sich um eine mechanische Vakuumpumpe, die aufgrund der periodischen Änderung des Volumens zwischen Wasserring und Schaufel aufgrund der Rotation der Rotorexzentrizität Luft pumpt.

20. Kolbenvakuumpumpe

Es ist eine mechanische Vakuumpumpe, die durch die Hubbewegung des Kolbens Luft ansaugt.

21. Mechanische Vakuumpumpe mit Öldichtung

Mechanische Vakuumpumpen mit Öl zum Halten der Dichtung können in feste Typen, rotierende, schiebbare Ventile, trochoide Typen usw. unterteilt werden.

22. Wurzelvakuumpumpe

Mechanische Vakuumpumpe mit einem Paar synchroner Hochgeschwindigkeitsrotationsschuhrotoren, diese Pumpe kann nicht separat gepumpt werden, Öldichtung, Wasserring und andere Vakuumpumpen können die Atmosphäre direkt absaugen.

23. Turbomolekularvakuumpumpe

Es gibt ein schnell drehendes Laufrad. Wenn die Gasmoleküle mit der schnell drehenden Turbinenschaufel kollidieren, werden sie zum Auslass getrieben und dann von der vorderen Pumpe entfernt.

24. Öldiffusionsvakuumpumpe

Ein Hochgeschwindigkeits-Dampfstrom wird aus der Düse der Diffusionspumpe ausgestoßen. Unter der Bedingung des molekularen Flusses diffundieren die Gasmoleküle kontinuierlich in den Dampfstrom und werden vom Dampfband schrittweise bis zum Auslass der Pumpe komprimiert und dann von der ehemaligen Pumpe ausgeschlossen.

25. Niedertemperatur-Vakuumpumpe

Die Vakuumpumpe dient zur Kondensation des Adsorptionsgases auf der Niedertemperaturoberfläche unter 20K.

26. Kühlfalle (Wasserleitblech)

Eine Vorrichtung, die zwischen einem Vakuumbehälter und einer Pumpe angeordnet ist, um Gas zu absorbieren oder Öldampf einzufangen.

27. Luftballastventil

Mechanische Öldichtungs-Vakuumpumpe an der Kompressionskammer, um ein kleines Loch zu öffnen, und den Regler aufzustellen und das Volumen einzustellen, wenn das Ventil geöffnet ist, der Rotor an einer bestimmten Stelle, diese Bohrung mit Druckluftkammer passiert, um das Kompressionsverhältnis zu verringern, so Um das Beste aus dem Dampf zu machen, der aus der aus der Pumpe herausgesperrten Gasmischung in der Rolle des Ventils kondensiert wird, wird dies als Gasballastventil bezeichnet.

28. Vakuum-Gefriertrocknung

Vakuum-Gefriertrocknung, auch Sublimationstrocknung genannt. Die Idee ist, das Material so einzufrieren, dass das darin enthaltene Wasser zu Eis wird, und das Eis anschließend im Vakuum zum Trocknen sublimieren.

29. Vakuumverdampfung

In einer Vakuumumgebung wird Erwärmen und Beschichten des Materials auf das Substrat als Vakuumverdampfung oder Vakuumbeschichtung bezeichnet.

30. Vakuumtrocknung

Es ist eine Methode zum Trocknen von Gegenständen durch Verwendung des niedrigen Siedepunkts in einer Vakuumumgebung.

31. Allgemeine Bezeichnung für Vakuumsystem

(1) Hauptpumpe: In dem Vakuumsystem wird die Vakuumpumpe verwendet, um den erforderlichen Vakuumgrad zu erreichen, um die spezifischen Prozessanforderungen zu erfüllen, z. B. die Öldiffusionspumpe in der Vakuumbeschichtungsmaschine ist die Hauptpumpe.

(2) Frontstufenpumpe: Die Vakuumpumpe, die verwendet wird, um den Druck einer Vakuumpumpe an der Frontstufe unterhalb ihrer kritischen Frontstufe zu halten. Eine Drehschieber- oder Schieberventilpumpe ist wie bei einer Rootspumpe eine Vorpumpe.

(3) Grobpumpe: Die Vakuumpumpe, die beginnt, Luft unter Atmosphärendruck zu pumpen, und pumpt dann den Systemdruck zu einer anderen Vakuumpumpe, um mit der Arbeit zu beginnen. Eine Vakuumbeschichtungsmaschine in der Schieberventilpumpe ist eine Grobölpumpe.

(4) Wartungspumpe: Im Vakuumsystem ist das Luftvolumen sehr klein und die vordere Pumpe kann nicht effektiv genutzt werden. Zu diesem Zweck eine kleine Kapazität der Hilfspumpe, um die Arbeit der Hauptpumpe aufrechtzuerhalten, wird diese Pumpe Wartungspumpe genannt. Wenn am Ausgang der Diffusionspumpe eine kleine Drehschieberpumpe vorgesehen ist, handelt es sich um die Wartungspumpe.