Die Zusammensetzung der Elektronenstrahlverdampfungsbeschichtungsmaschine

Die Zusammensetzung der Elektronenstrahlverdampfungsbeschichtungsmaschine

Die Elektronenstrahlverdampfungsbeschichtungsmaschine besteht hauptsächlich aus Steuerungssystem, echtem Luftwegsystem und Elektronenpistolensystem. 1. Es gibt zwei Pumpen im Vakuumluftpfad des wahren Luftwegs der Elektronenstrahlverdampfungsbeschichtungsmaschine, nämlich die mechanische Pumpe vordere Stufe und die Hochvakuum-Kryogenpumpe, unter denen die kryogene Pumpenfunktion hauptsächlich durch die sehr niedrige Temperatur erfolgt, entsprechend der ursprünglichen Adsorption des Kaltschirms, um den Zweck des Vakuums zu erreichen. Im Prozess der Hochvakuumpumpe Start-up bei niedriger Temperatur, Niveau der mechanischen Pumpe wird vor der Rohrleitung in einem Vakuum-Zustand sein, wenn die Vakuum-Pipeline ein gewisses Ausmaß erreicht, vielversprechende Ventil wird sich öffnen, dieses Niveau, bevor die mechanische Pumpe weiter arbeiten wird, machen das Rohr und Tieftemperaturpumpe hat einen Vakuumzustand, dann, war ein ehemaliges Stufenventil wiederholt die oben genannten Schritte. 2. Elektronenstrahl-Erwärmung und Verdampfungsquelle die Verdunstungsquelle des Elektronenstrahls besteht hauptsächlich aus Elektronenkanone und Tiegel. Bei Bedarf kann eine Reihe mechanischer Geräte angebracht werden, die Rohstoffe für die Beschichtungsmaschine liefern können. In den meisten Fällen werden die Steuerung, die den Elektronenstrahl erzeugt und steuert, und das Design des Tiegels in die Beschichtungsmaschine integriert. Im Folgenden sind mehrere Strukturen der Elektronenstrahl-Heiz- und Verdampfungsquellen. Der Verdampfer wird durch lineare Kathode und elektrostatische Fokussierung erwärmt. (2) der Verdampfer durch ringförmige Kathode und elektrostatische Fokussierung erhitzt. Der Verdampfer wird durch Axialpistole und elektrostatische Fernfokussierung erwärmt. Der Verdampfer wird durch Axialpistole, magnetische Fokussierung und magnetische Umlenkung um 90 Grad erwärmt. E - Typ Geschützverdampfer, E - Typ Elektronenstrahlverdampfungsquelle, die von der Elektronenbahn emittiert wird, ähnelt dem Wort "E", daher wird es als E-Geschütz bezeichnet. Derzeit wird diese Form der Verdampfungsquelle am häufigsten in Vakuumverdampfung sumdampfen und beschichtungsverfahren eingesetzt.

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