Elektronenstrahlverdampfungsbeschichtung
Apr 25, 2020| Elektronenstrahlverdampfungsbeschichtung
Unter Hochvakuum wird das Elektronenkanonenfilament erhitzt, um heiße Elektronen zu emittieren, die durch die beschleunigte Anode beschleunigt werden, um eine große Menge kinetischer Energie zu erhalten und das Verdampfungsmaterial zu bombardieren. Die kinetische Energie wird in Wärme umgewandelt, um das Verdampfungsmaterial zu erhitzen und zu vergasen, und die Elektronenstrahlverdampfungsbeschichtung wird realisiert. Die Elektronenstrahlverdampfungsquelle besteht aus einer heißen Kathode, die Elektronen emittiert, einer elektronenbeschleunigenden Elektrode und einem Beschichtungsmaterial, das als Anode wirkt. Die Energie der Elektronenstrahlverdampfungsquelle kann hoch konzentriert sein, wodurch das Beschichtungsmaterial lokal eine hohe Temperatur erreicht und verdampft. Durch Einstellen der Leistung des Elektronenstrahls kann die Verdampfungsrate des Beschichtungsmaterials bequem gesteuert werden, insbesondere für hochschmelzende, hochreine Metall- und Verbundmaterialien.
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