Gepulste Magnetron-Sputter-Stromversorgung
Aug 25, 2020| Die gepulste Magnetron-Sputter-Stromversorgung nimmt eine Rechteckwellenspannung an, die die Erzeugung von Lichtbogen wirksam unterdrücken und die dadurch verursachten Filmdefekte beseitigen kann, und gleichzeitig die Abscheidungsrate verbessern und die Abscheidungstemperatur verringern und eine Reihe von signifikanten Vorteilen erzielen kann Es ist eine bevorzugte Energiequelle für die Abscheidung von sputterenden Isolationsmaterialien.
In einem Zyklus gibt es zwei Stufen positiver und negativer Spannung. Im negativen Spannungsabschnitt arbeitet die Stromversorgung mit dem Sputtern des Zielmaterials, und der positive Spannungsabschnitt wird eingeführt
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