Gleichstrom-Magnetron-Sputter-Netzteil

Die Gleichstrom-Magnetron-Sputter-Stromversorgung arbeitet im Hochfrequenzumwandlungsmodus, der Gleichstromausgang und die Leistungsstromanpassung wird durch Ändern der Impulsbreite der Hochfrequenzumwandlung realisiert. Das Netzteil hat gute Belastungseigenschaften, eine hohe Kostenleistung und ist für Metall- und Reaktionsfilmumgebungen geeignet.

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