Die Wartung und Reparatur Kenntnis der Diffusionspumpe für Vakuum PVD-Beschichtungsanlage

Die Wartung und Reparatur Kenntnis der Diffusionspumpefür Vakuum PVD-Beschichtungsanlage

Die wichtigsten Teile des Vakuum Coater können im besten Zustand betreiben., das ist sehr wichtig, Wartung und Reparatur Diffusionspumpe Vakuumbeschichtung Maschine.

1. das Kühlwasser muss während des Betriebs der Diffusionspumpe entsperrt werden, und das Kühlwasser kann geschlossen werden, nachdem die Pumpe Flüssigkeit vollständig abgekühlt worden ist, nach der Heizung wird gestoppt.

(2) Wenn die Diffusionspumpe nicht funktioniert mehr, sollte die Pumpe in einem Vakuum, Verschlechterung von Öl zu vermeiden gehalten werden.

(3) die gepumpte Gas wird trocken, korrosionsfrei und staubfrei sein.

(4) Wenn die Diffusionspumpe vorerst nicht verwendet wird, wird es während der Lagerung zur Vermeidung von Umweltbelastungen Öl aus der Pumpe und die Korrosion der einzelnen Teile und die Luft zu sprengen das restliche Wasser in das Kühlwasser in einem Vakuum Zustand gehalten werden. Halten Sie die Raumtemperatur zwischen 10 und 40 Grad Celsius.

(5) die Leistung der Diffusionspumpe verschlechtert sich allmählich nach Langzeitbetrieb und sollte regelmäßig überprüft werden. Wenn die Pumpenöl reduziert oder oxidiert, tanken oder nach den entsprechenden Anforderungen zu ersetzen; Die Teile und Pumpkammern sind gereinigt mit Flugbenzin, dann mit Aceton geschrubbt und bei 80 bis 100 Grad Celsius getrocknet oder mit einem Fön getrocknet. Nach der Behandlung versammeln Sie sich in Ordnung, halten Sie die Pumpe Kern und Pumpe unten senkrecht zu der Pumpe Hohlraum und passen Sie die Düse Clearance nach den ursprünglichen Anforderungen an.

(6) Wenn das Wasser verdunstet und trocknet, der Kern der Pumpe installiert, neue Verbreitung Pumpenöl wird hinzugefügt, und Körper installiert, die Wasserleitung angeschlossen ist, und Elektroofen Platte installiert, dann die Pumpe kann wieder gestartet werden.

7. Achten Sie auf Lecksuche vor Inbetriebnahme wieder. Die Methode ist: die Wartung Pumpe starten, schließen Sie die Tür und nach einigen Minuten beobachten der Vakuumgrad und überprüfen ob die gemeinsame Leckage Dichtung Dichtung oder Crush-Dichtring. Entfernen Sie das Risiko von Luftverlust vor dem Erhitzen, sonst die Verbreitung Pumpenöl brennt, nicht funktionierenden Zustand zu betreten.