Kryopumpe ölfreies Ultrahochvakuumsystem
Aug 29, 2021| Kryopumpe ölfreies Ultrahochvakuumsystem
Kryopumpe als Hauptpumpe, parallele oder serielle Molekularsieb-Adsorptionspumpe (Vorvakuumpumpe). Das Vakuumsystem kann auch eine mechanische Pumpe als Vorvakuumpumpe verwenden, jedoch muss an der Zuleitung der mechanischen Pumpe ein Öl- und Kondensatableiter installiert werden.

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