Kombiniertes Ultrahochvakuumsystem

Kombiniertes Ultrahochvakuumsystem

Für einige Vakuumsysteme mit besonderen Anforderungen, wie z.B. solche, die Ultrahochvakuum oder Ultrahochvakuum ohne Öl benötigen und gleichzeitig die Anforderungen des Grobpumpens erfüllen und eine große Menge an Gas bewältigen können, die während des Prozesses freigesetzt wird, kann das kombinierte System verwendet werden, um die Anforderungen zu erfüllen. Abb. 1 zeigt das schematische Diagramm des Vakuumsystems der ölfreien Ultrahochvakuum-Beschichtungsmaschine. Die Hauptpumpe ist die Sputter-Ionenpumpe, die mit einer Titansublimationspumpe ausgestattet ist, um den Vakuumgrad zu verbessern und die große Menge an Gas abtransportieren, die durch Verdampfungsmaterialien entsteht. Das ultimative Vakuum kann 6,67×10-7Pa erreichen. Vorpumpenpumpe mit Molekularsiebpumpe als Hauptpumpe. Darüber hinaus ist das System auch mit einer Adsorptionsfalle ausgestattet - mechanisches Pumpen-Rohölpumpsystem, wenn der Druck größer als 1333Pa ist, die mechanische Pumpe ist nicht einfach, Öl zurückzugeben, die mechanische Pumpe saugt direkt die Vakuumkammer ab, wenn der Druck der Vakuumkammer niedriger als 1333Pa ist, die mechanische Pumpe durch die Adsorptionsfalle 9 aus der Bypass-Vakuumkammer.

1. Vakuumkammer 2. Ultrahochvakuum-Absperrschieber 3. Sputternde Ionenpumpe 4. Titan-Sublimationspumpe 5. Ultrahochvakuumventil 6. Auslassventil 7. Hochvakuumventil 8. Molekularsiebpumpe 9. Adsorptionsfalle 10. Mechanische Pumpe
ABB. 1 Schematische Darstellung des Vakuumsystems der ölfreien Ultrahochvakuum-Beschichtungsmaschine

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