Optische Beschichtungsmaschine
Anwendung: Brillen, reflektierender Spiegel, Mobiltelefonrückwand, Schutzabdeckung, optische Kommunikation, optische Anzeige, etc
- Produkteinführung
Ausrüstung kurz
IKS-OPT2700 ist für die Beschichtung von großflächigen optischen Filmen konzipiert. Es ist eine Elektronenstrahl-Verdampfungsbeschichtungsmaschine. Das Beschichtungssystem besteht aus einer Vakuumkammer, einer Vakuumpumpe, einer Vakuumerkennung und -steuerung, einem Substratheizsystem, einem Elektronenstrahlverdampfungssystem, einem Ionenquellen-unterstützten Abscheidungssystem, einem Widerstandsverdampfungssystem, einem Schichtdickenüberwachungssystem, einem Arbeitsgasvolumenstrom-Steuersystem und einer Arbeit Stückrotationssystem und automatische Beschichtung durch SPS gesteuert .
Das Verdampfungsmaterial wird üblicherweise von seltenen Metallen wie YF 3 (Yttriumfluorid), F 3 Pr (Praseodymfluorid), Ge (Germanium), ZnS (Zinksulfid), MgF 2 (Magnesiumfluorid), TiO 2 (Titandioxid) verwendet. SiO 2 (Siliciumdioxid), ZrO 2 (Zirkoniumoxid), Co (Cobalt), Ga (Gallium), Se (Selen) und andere Metalle. In den optischen Materialien von Reflektoren werden üblicherweise Cu (Kupfer), Mo (Molybdän), Si (Silizium), Ge (Germanium) und andere Metalle verwendet.
Es kann ein Farbfilm für sichtbares Licht, ein reflektierender Aluminiumfilm, ein AF-Antifingerabdruckfilm, ein organischer Film mit niedrigem Schmelzpunkt, ein spektroskopischer Film für sichtbares Licht, ein Antireflexionsfilm für sichtbares Licht usw
Ausstattungsparameter
Kammergröße | 2700 × H1670mm × 10,5m 3 | Karussell | 2650 * H420mm |
Vakuumgrad | Endvakuum: 6 × 10 -4 Pa ( 24 Stunden ohne Beladung ohne Heizung ) | Gewicht | 8000 kg, Bodengewicht ﹥ 1000 kg / m 2 |
Leckrate | ＜ 4 × 10 -3 Pa × L / S (Heliumleckprüfung) | Temperatur | Bei Raumtemperatur bis 250 ° C beträgt die Temperaturgleichmäßigkeit ± 5% |
Vakuum arbeiten | 6 × 10 -3 Pa ( automatischer Prozessstart ) | Netzteil | Dreiphasig , 380 V ， 50 Hz ， 60-100 KW |
Niedriges Vakuum | Wasserkühlen | Der Fluss der Kammer ＞ 4000 l / h , der Fluss der Pumpe ＞ 1800 l / h , der Fluss des Gefriergerätes ＞ 1600 l / h | |
Hochvakuum | 6 Minuten 8 × 10 -3 Pa | Warmes Wasser | Verdampfungsquelle1800L / H, 35-60 |
Vakuummessung | Überwachung des gesamten Prozesses und Erfassung von Echtzeitpunkten | Grundfläche | L6 × w5.5 × H3.5m |
Anwendung | Brillen, reflektierender Spiegel, Mobiltelefonrückwand, Schutzabdeckung, optische Kommunikation, optische Anzeige usw | ||
Anwendung
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