Bohrer PVD Vakuumbeschichtungsmaschine
PVD-Beschichtung von Bohrern, Fräsern, Sägeblättern, Bandsägeblättern. TiN, TiCN, TiCrN, TiAlCN usw.
- Produkteinführung
Bild der PVD-Beschichtungsmaschine
Parameter der PVD-Beschichtungsmaschine
Kammergröße | φ 1200 * H950 | effektiver Raum | φ 650 * H600 |
Substrat max Durchmesser * Menge | φ 150 * 12 个 | Pumpzeit | atm bis 6 × 10 –3 <15> |
Arbeitsspannung / Frequenz | 380 V / 50 Hz | echte Kraft | 70 KW |
Technologie | HCD + ARC | Zielmenge | 12St |
ultimativer Druck | 5,0 * 10 -4 Pa | Leckrate | 10 - 3 Pa.L / s |
Standardbeschichtung | TiN 、 CrN 、 AlTiN 等 | optionale Beschichtung | TiAlCrN etc. |
Plattenspieler-Struktur | Down-Struktur | Kammerbau | Vertikale Einzeltür |
Stromquellentyp | Lichtbogenleistung, Impulsvorspannungsleistung, E-Pistolenleistung | Pumpensystem | Turbomolekularpumpe, Wurzelpumpe, Monoblockpumpe |
Beschichtungszyklus | 3-6 Stunden / Ofen | Gesamte Größe | L4200 * W3200 * H2200MM |
Ausbeute / Ofen | Fräser φ 10 * 70 880 Stück Messerteilchen φ 18 * 6 6400 Kochfelder φ 80 * 80 64 Modelle 500KG | Übereinstimmungsbedingung |
Druckluft : 4-6 KG / CM3
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Kontroll-Methode | manuell + halbautomatisch +
/ Touchscreen + SPS Selbst entwickelte Beschichtungssoftware | Arbeitsgas | Ar 、 N 2 、 O 2 、 C 2 H 2 |
Anmerkung | Die Größe der Vakuumkammer, die Gesamtgröße und das Erscheinungsbild der Geräte können je nach Kundenprodukten oder speziellen Prozessanforderungen angepasst werden | ||
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