Funktionsprinzip und Prinzipschaltbild der Kryopumpe
Jun 12, 2019| Funktionsprinzip und Prinzipschaltbild der Kryopumpe
Das Arbeitsprinzip der Kryopumpe besteht darin, das Abgas durch physikalische Adsorption auf der Oberfläche mit extrem niedriger Temperatur abzusaugen.
Die Kryopumpe erreicht ein extrem hohes Vakuum (10-11 Pa) und bietet die Vorteile einer schnellen Abluftgeschwindigkeit, kein Öl und unbegrenzter Einbaurichtung. Ihre Struktur ist in Abbildung 1 dargestellt .
FEIGE. 1 schematisches Diagramm der Kryopumpenstruktur
1 - Kühltisch der ersten Stufe; 2 - Sekundärkühltisch; 3 - Kryo-Abdeckung; 4 - Abschirmdeckel; 5 - Schallwand
Der Kältetisch der Kryopumpe der ersten Stufe ist mit einer Schutzabdeckung und einer Schallwand ausgestattet, und die Temperatur wird bei 80 K gehalten. Der sekundäre Kühltisch wird bei 15 K gehalten, auf dem eine Niedertemperaturabdeckung und ein Aktivkohleadsorptionsmittel angeordnet sind.
Auf dem 80K-Schild und der 80K-Schallwand erstarrt Wasserdampf. Stickstoff, Sauerstoff und Argon werden auf einer 15K-Kryo-Maske verfestigt. Wasserstoff, Helium und Neon werden auf dem Adsorbens im Inneren des 15K-Niedertemperaturgehäuses adsorbiert. Die Kryopumpe kann alle Gase absaugen. Wenn jedoch zu viel Gas absorbiert wird, verringert sich die Absauggeschwindigkeit. Zu diesem Zeitpunkt muss die Kryopumpe erwärmt werden, um das adsorbierte Gas freizusetzen und erneut zu verwenden.
