Warum ist das Feinpumpen der Vakuumbeschichtungsmaschine zu langsam?
Mar 20, 2019| Warum ist das Feinpumpen der Vakuumbeschichtungsmaschine zu langsam?
Die Vakuumförderung von Feinstpumpen ist aus folgenden Gründen zu langsam, um die Gründe zu finden:
Erstens kann die Diffusionspumpe nicht großartig sein. Lösung: kann verwendet werden, um ein einzelnes Ionisierungsmessgerät an das Diffusionspumpen-Pumploch anzuschließen, um zu sehen, wie viel das einzelne Pumpen der Diffusionspumpe erreichen kann, um die Pumpzeit und -grenze zu sehen und zu vergleichen.
Zweitens hat das Vakuumsystem leichte Leckagen. Lösung: Dies erfordert eine langsame Lecksuche, um festzustellen, ob die Vakuumhaltezeit auf dem gleichen Niveau liegt.
Drittens ist die Box zu schmutzig, die Menge der freigesetzten Luft ist groß . Lösung: Reinigungsbox
viertens, nicht vor der mechanischen Pumpe oder dem mechanischen Pumpenpumpenvakuum ist nicht gut. Lösung: Das vordere Stufenrohr kann separat mit einem Widerstandsmessgerät getestet werden.