Welche Arten von Heizmethoden zur Verdampfungsbeschichtung umfassen
Jul 17, 2020| Welche Arten von Heizmethoden für die Verdampfungsbeschichtung umfassen? Was sind die Merkmale von jedem?
Heizmethoden können unterteilt werden in:
(1) Widerstandsheizung (2) Induktionserwärmung (3) Elektronenstrahlerwärmung (4) Lasererwärmung (5) Lichtbogenerwärmung. (2) Induktionserwärmung: Hohe Heizleistung, schnelle Erwärmung und große Heizleistung. (3) Elektronenstrahlerwärmung: Bei dieser Erwärmungsmethode werden Tausende von eV-Hochenergieelektronen durch ein Magnetfeld fokussiert und treffen direkt auf das verdampfte Material. Die Temperatur kann bis zu 30000C betragen. Seine Elektronen stammen aus zwei Quellen: heißen Elektronen aus heißen Metallen und aus Hohlkathodenentladungen. (4) Lasererwärmung: Der Laserstrahl kann durch eine Optik auf die Verdampfungsquelle fokussiert werden, wodurch lokale momentane hohe Temperaturen erzeugt werden, damit diese entweichen können. Die ersten USES waren gepulste rote Laser, und dann wurden ultraviolette Excimerlaser entwickelt. Der Vorteil der ultravioletten Strahlung besteht darin, dass die Energie jedes Photons viel höher ist als die der Infrarotstrahlung, so dass die Leistungsdichte des Excimerlasers sehr hoch ist, was der Funktion des Elektronenstrahls ähnlich ist. Es wird häufig zur Abdeckung komplexer Verbindungen verwendet und die Beschichtungsqualität ist sehr gut. Es unterscheidet sich grundsätzlich vom Elektronenstrahlerwärmungs- oder Sputterprozess, der Excimerlaser wird von den feinen Partikeln getrennt und letztere als Moleküle getrennt. (5) Lichtbogenerwärmung: Die Vorteile der Kathodenlichtbogenabscheidung sind: (1) schnelle Verdampfungsrate, bis zu 1,0 Mikrometer pro Sekunde (2) Substrat muss nicht erwärmt werden (3) kann mit Hochtemperaturmetall und Keramik beschichtet werden Verbindungen (4) Beschichtungsdichte und hohe Haftung
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