Vakuumsysteme werden nach ihrem Betriebsdruck klassifiziert

Sep 26, 2023|

Vakuumsysteme werden nach ihrem Betriebsdruck klassifiziert

Das Vakuumsystem wird nach seinem Arbeitsdruck klassifiziert, der unterteilt werden kann in: 1) Rohvakuumsystem (Arbeitsdruck größer als 1330Pa); 2) Niedrig- und Mittelvakuumsystem (Arbeitsdruck beträgt 1330~0,13 Pa); 3) Hochvakuumsystem (Arbeitsdruck 0,13–1,3×1-6Pa); 4) Ultrahochvakuumsystem (Arbeitsdruck beträgt 1,3×10-6Pa ~ 1,3×10-10Pa); 5) Extrem hohes Vakuumsystem (Arbeitsdruck unter 1,3×10-10Pa).

Entsprechend der vom Vakuumsystem geforderten Sauberkeit kann es unterteilt werden in: 1) es gibt ein Ölvakuumsystem (die Vakuumkammer weist Öldampfverschmutzung auf); 2) Ölfreies Vakuumsystem (Vakuumkammer ohne Öldampfverschmutzung).

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