Vakuumsystem einer Turbomolekularpumpe in Reihe mit einer mechanischen Pumpe

Vakuumsystem einer Turbomolekularpumpe in Reihe mit einer mechanischen Pumpe

Abbildung 5-14 zeigt das System. Dieses System kann ohne Backen ein Vakuum von 10-6Pa erreichen, und der Vakuumgrad nach dem Backen kann 10-8Pa erreichen. Die Eigenschaft des Systems ist relativ sauber und kann ein ölfreies Ultrahochvakuumsystem bilden.

Abbildung 5-14 Turbomolekularpumpe-Ultrahochvakuumsystem: 1- Vakuumkammer 2- Thermoelement-Vakuummeter 3-BA-Vakuummeter 4- Ultrahochvakuumventil {{8 }} Turbomolekularpumpe 6- vordere Pumpe 7- Magnetventil 8- mechanische Pumpe

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