Pumpgeschwindigkeit der Vakuumpumpe und Konfiguration der Vakuumeinheit! Absolut praktisch

Pumpgeschwindigkeit der Vakuumpumpe und Konfiguration der Vakuumeinheit! Absolut praktisch

Unterschiedliche Vakuumsysteme erfordern unterschiedliche Vakuumgrade. Daher ist es häufig erforderlich, eine Reihe von Vakuumeinheiten abzuschließen, das heißt durch Arbeiten in verschiedenen Druckbereichen von Vakuumpumpen, die miteinander verbunden sind.

Die Vakuumpumpe auf der Hochvakuumseite kann den erforderlichen Vakuumgrad des Systems erreichen, während die Vakuumpumpe auf der Niedrigvakuumseite direkt in die Atmosphäre abgegeben wird. Die einfachste Vakuumeinheit ist offensichtlich eine Vakuumpumpe, die direkt in die Atmosphäre läuft. Ein Hochvakuumsystem erfordert jedoch im Allgemeinen eine dreistufige Einheit, und ein Mittelvakuumsystem erfordert im Allgemeinen eine zweistufige Einheit.

Es ist schwierig für eine Hochvakuumpumpe und eine Niedrigvakuumpumpe, eine effektive Hochvakuumeinheit zu bilden. Dafür gibt es mehrere Gründe. Kontinuität des Flusses ist einer von ihnen. Die Hochvakuumpumpe hat die Begrenzung des Drucks der Frontstufe, dh die Frontstufe ist höher als ein bestimmter Druck, die Pumpe kann nicht normal arbeiten. Wenn die Pumpe der aktuellen Stufe diesen kritischen Druck erreicht, nimmt die Pumpgeschwindigkeit häufig ab, so dass der Abgasstrom der Pumpe der vorherigen Stufe geringer sein kann als der Abgasstrom der Hauptpumpe. Der unbeständige Strom zerstört die Anforderungen an die Strömungskontinuität Die Vakuumeinheit kann nicht richtig funktionieren. Wenn die Hoch- und Niedervakuumpumpe jedoch mit einer mittleren Vakuumpumpe verbunden ist, kann sie eine Verbindungsrolle und einen kontinuierlichen Fluss spielen, und jede Pumpe kann im besten Zustand arbeiten. Roots-Pumpe kann im Vakuum-Bereich arbeiten, ist die am besten geeignete, also auch als Roots-Booster-Pumpe bezeichnete Pumpe, die aufgrund ihres Verdichtungsverhältnisses nicht hoch ist, nur an ein paar Pa bis einige hundert Pa angeschlossen werden kann. Wenn die dreistufige Hochvakuumeinheit einen höheren Vakuumgrad erreicht, wird der Abgasstrom der Hauptpumpe offensichtlich reduziert, und zu diesem Zeitpunkt kann nur eine kleinere Frontstufenpumpe die Kontinuität der Luftabsaugung aufrechterhalten, die häufig verwendet wird in der Praxis, um den Energieverbrauch der Einheit zu reduzieren.

Ein weiterer Grund, warum eine Hochvakuumeinheit häufig eine dreistufige Einheit erfordert, liegt in der Begrenzung des Ansaugdrucks einer Hochvakuumpumpe. Alle Pumpen haben einen anfänglichen Arbeitsdruck und herkömmliche Hochvakuumpumpen liegen im Bereich von mehreren Pa. Daher muss die Vorpumpe auf den Druck der Hauptpumpe vorgepumpt werden, um mit der Arbeit zu beginnen. Gerade der Füllstand vor dem Aufpumpen auf den Atmosphärendruck erfordert jedoch oft eine lange Zeit, da beispielsweise der Druck zur Verringerung der Pumpgeschwindigkeit der Pumpe abnimmt, insbesondere für das periodische Unterdrucksaugaggregat, um die Anforderungen an den Unterdruckgrad zu erfüllen Arbeitszeit ist, je länger Sie rauchen, auch die längere Zeitdauer im Vakuumgrad der Arbeit, daher erhöhen Sie die Taichung mit niedrigem Pegel, bevor die Vakuumpumpe die Vakuumpumpe in relativ kurzer Zeit erreichen kann. Damit wir das System so schnell wie möglich an den Arbeitsdruck anpassen können, garantieren wir die Effizienz der Ausrüstung.

Sowohl die Roots-Pumpe als auch die Ölverstärkungspumpe können als mittlere Vakuumpumpe verwendet werden. Die molekulare Druckerhöhungspumpe hat ein sehr hohes Verdichtungsverhältnis, wodurch sie nicht nur sauberes Vakuum erhält, sondern auch eine hervorragende Hochvakuumleistung aufweist. Gleichzeitig hat es eine Superpumpkapazität im mittleren Vakuumbereich. Dadurch ist die molekulare Boosterpumpe derzeit die einzige Vakuumpumpe mit mittlerer und hoher Vakuumleistung, sodass nur die Zusammenarbeit mit der niedrigen Vakuumpumpe eine mit der dreistufigen Hochvakuumeinheit vergleichbare Leistung bilden kann. Insbesondere weil die molekulare Boosterpumpe einen hohen Druck aufweist, kann die ehemalige Pumpe leicht in einen Zustand mit hohem Durchfluss gebracht werden; Durch die Ansaugung der molekularen Druckerhöhungspumpe wird der Druck vor dem Pumpen der Pumpe verringert. Die molekulare Druckerhöhungspumpe kann mit 100-50 Pa arbeiten, dem Druck von der Atmosphäre bis zur ersten Stufe der Pumpe, im Wesentlichen gemäß dem Gesetz jedes Mal, wenn der Druck um eine Größenordnung nach unten drückt, daher kann die Einheit eine hohe Extraktionseffizienz haben. Die Vereinfachung der Hochvakuumeinheit und das Abbrechen der Wurzelpumpe ist ein weiterer Vorteil der molekularen Druckerhöhungspumpe. Bei größeren Hochvakuum-Applikationsgeräten kann die Vorpumpkapazität der Frontstufenpumpe entsprechend verstärkt werden, um die Pumpzeit weiter zu verkürzen. Da die Vorpumpzeit im Vergleich zum gesamten Abgasprozess sehr kurz ist, ist auch die Nutzungszeit der Frontstufenpumpe sehr kurz, so dass sie die Vorpumpfunktion mehrerer Gerätesätze verdoppeln kann, was häufig sehr häufig ist realistisch. Dadurch wurde die großflächige Anwendung der Vakuumeinheit stark vereinfacht.

Bei einigen Anwendungen mit mittlerem Vakuum ist es erforderlich, den Bereich von 10-1 Pa einzugeben, was für Sekundäreinheiten der Roots-Pumpe oft schwierig zu realisieren ist, und die Verwendung von Sekundäreinheiten, die mit Roots-Pumpen verbunden sind, kann den Vakuumgrad um ein Vielfaches verbessern Größenordnung und geben Sie 10-1pa ein, so dass die Anwendung von Vakuum auch in den Tertiäreinheiten üblich ist. Da die molekulare Druckerhöhungspumpe mit 10-1 Pa vollständig gepumpt werden kann, kann sie auch die zweistufige Wälzkolbenpumpe in der dreistufigen Mittelvakuumanlage ersetzen. Im Allgemeinen kann die lange Zeit, die im Vakuum des Niederdruckbereichs der Wurzelpumpe arbeitet, der molekularen Druckerhöhungspumpe vollständig ersetzt werden. Und die lange Zeit, die im Hochvakuumdruckbereich der Wurzelpumpe arbeitet, sollte relativ klein sein, da dieser Druckbereich vor der Pumpe oft eine hohe Pumpgeschwindigkeit aufweist.

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