Produktklassifizierung und -merkmale der Vakuumausrüstung und Wahl der Vakuumpumpe

Produktklassifizierung und -merkmale der Vakuumausrüstung und Wahl der Vakuumpumpe

IKS PVD, PVD-Beschichtungsanlage factory.contact: iks.pvd@foxmail.com

Vakuumgeräteprodukte können in fünf Kategorien unterteilt werden:

(1) Vakuumerfassungsgeräte - Geräte, die ein Vakuum erzeugen, verbessern oder aufrechterhalten. Inklusive einer Vielzahl von Grob-, Niedrig-, Mittel-, Hoch- und Ultrahochvakuumpumpen sowie Vakuumeinheiten.

A. Mechanische Vakuumpumpe: Drehschieberpumpe, Hubkolbenpumpe, Schieberventilpumpe, Wurzelpumpe, Molekularpumpe und Flüssigkeitsringpumpe usw.

B. Dampfstrom-Vakuumpumpe: Wasserdampfstrahlpumpe, Ölverstärkungspumpe und Öldiffusionspumpe usw.

C. Gasfangvakuumpumpe: Titan-Sputter-Ionenpumpe, Kryopumpe, Molekularsieb-Adsorptionspumpe und Luftabsorptionspumpe aus Zirkonium und Aluminium.

D. Vakuumeinheit: Dies ist eine Art Einheit, die aus Komponenten wie Vakuumerzeugung, Vakuummessung und Vakuumkontrolle besteht.

(2) Vakuumanwendungsausrüstung - verschiedene Ausrüstung, die in einer Vakuumumgebung (im Gaszustand einer Atmosphäre) angewendet wird.

A. Vakuumbeschichtungsmaschine: Verdampfungsbeschichtungsmaschine, Magnetron-Zerstäubungsbeschichtungsmaschine, Ionenbeschichtungsmaschine und chemische Plasmabeschichtungsvorrichtung usw.

B. Vakuumschmelzofen: Widerstandsofen, Elektronenstrahlofen, Elektrolichtbogenofen, Induktionsofen und Einkristallofen usw.

C. Vakuumwärmebehandlungsofen: Abschreckofen, Temperofen, Glühofen, Aufkohlungsofen, Nitrierofen und Metallisierungsofen usw.

D. Andere Vakuumgeräte: Gefriertrocknungsgeräte, Destillationsgeräte, Reinigungsgeräte, Imprägniergeräte, Obst- und Gemüsekonservierungsgeräte, Transportgeräte, Weltraumsimulationsgeräte, Verpackungsmaschinen und Stahlentgasungsgeräte usw.

(3) Vakuummessgerät Ein Gerät zum Messen des Drucks von Gasen und Dämpfen unter einer Atmosphäre.

A. Unterdruckanzeige (Messbereich: 105 - 102 Pa).

B. mittleres Vakuummeter (Messbereich: l02 - l0-1pa).

C. Hochvakuummeter (Messbereich 10-1-10-5pa).

D. Ultrahochvakuummeter (Messbereich <>

(4) Vakuumleckdetektor: ein Instrument zum Erfassen der Position oder Rate von Leckageöffnungen in dem Vakuumsystem oder den Komponenten. Es umfasst einen Hochfrequenz-Funkenleckdetektor-Halogenleckdetektor und einen Helium-Massenspektrometrie-Lecksucher.

(5) Vakuumventil - eine Komponente, die zum Regulieren des Flusses, zum Abschneiden oder Anschließen von Rohrleitungen im Vakuumsystem verwendet wird. Einschließlich Plattenventil, Ablenkventil, Magnetventil, Magnetbandablassventil, Membranventil und Regelventil.

Um die Vakuumpumpe besser auswählen und verwenden zu können, haben wir die folgenden Punkte speziell zusammengestellt, damit Sie die richtigen Produkte auswählen können. Entsprechend der tatsächlichen Situation sollten wir auf diese achten:

1, Vakuumpumpen-Arbeitsvibration des Prozesses und der Umgebung hat keine Auswirkungen. Wenn der Prozess nicht unterstützt, sollten Sie keine Vibrationen der Pumpe wählen oder eine Reihe von Maßnahmen ergreifen, um Vibrationen zu vermeiden.

2. Die Zusammensetzung des gepumpten Gases kennen, ob Partikelstaub oder Korrosion im Gas vorhanden ist. Bei der Auswahl einer Vakuumpumpe müssen Sie die Zusammensetzung des Gases kennen. Wenn das Gas Dampf, Partikel und korrosive Gase enthält, müssen Sie die Installation von Zusatzgeräten in der Einlassleitung der Pumpe in Betracht ziehen.

3, die Vakuumpumpe in ihrem Arbeitsdruck, kann die Vakuumanlage im Prozess des gesamten erzeugten Gases entleeren.

4, die richtige kombination von vakuumpumpe. Manchmal wählen Sie eine Pumpe kann die Anforderungen des Pumpens nicht erfüllen, weil die Vakuumpumpe ein selektives Pumpen hat, müssen mehrere Pumpenkombinationen sich ergänzen, um die Pumpanforderungen zu erfüllen.

Wenn die Titansublimationspumpe eine hohe Pumprate für Wasserstoff aufweist, Helium jedoch nicht pumpen kann und die Tripolsputter-Ionenpumpe (oder die bipolare asymmetrische Kathodensputterpumpe) eine bestimmte Pumprate für Argon aufweist, erhält die Vakuumvorrichtung den entsprechenden Vakuumgrad .

5. Anforderungen an die Ölverschmutzung von Vakuumgeräten. Wenn das Gerät eindeutig kein Öl benötigt, sollte eine Vielzahl von Pumpen gewählt werden, wie zum Beispiel: Wasserringpumpe, Molekularsieb-Adsorptionspumpe, Sputter-Ionenpumpe, Kryopumpe usw., wenn die Anforderungen nicht streng sind, kann eine Pumpe plus gewählt werden einige Maßnahmen zur Verhinderung der Ölverschmutzung.

6, die richtige Wahl des Arbeitspunkts der Vakuumpumpe. Jede Pumpe hat einen bestimmten Arbeitsdruckbereich. Daher sollte der Arbeitspunkt der Pumpe in diesem Bereich besser gewählt werden und kann nicht für längere Zeit in 25 ~ 30 mmHg arbeiten.

7. Wie wirkt sich der von der Vakuumpumpe abgegebene Öldampf auf die Umwelt aus? Wenn die Umgebung keine Verschmutzung zulässt, können Sie eine ölfreie Vakuumpumpe oder den Öldampfaustritt nach außen wählen.

8. Der Arbeitsdruck der Vakuumpumpe muss den Anforderungen des extremen Vakuums und des Arbeitsdrucks der Vakuumausrüstung genügen. Zum Beispiel erfordert ein Vakuumtrocknungsprozess ein Arbeitsvakuum von 10 mmHg, das Endvakuum der ausgewählten Vakuumpumpe sollte mindestens 2 mmHg betragen und das beste Vakuum kann 1 mmHg erreichen. Das gewählte Pumpengrenzvakuum ist normalerweise um eine Größenordnung höher als das Vakuum der Vakuumausrüstung.

9. Unter Berücksichtigung des anfänglichen Installationspreises, der Betriebs- und Wartungskosten der Vakuumpumpe wählen Sie die Vakuumpumpe mit hoher Kostenleistung in Kombination mit der tatsächlichen Situation.