Lecksuchverfahren für Vakuumbeschichtungsgeräte

Die Lecksuche von Vakuumbeschichtungsgeräten ist so wichtig, können Sie Lecksuche durchführen?

Die Leckerkennung von Vakuumbeschichtungsgeräten ist eine Inspektionsmaßnahme zur Sicherstellung des Vakuumgrads von Vakuumbeschichtungsgeräten, die als Lecksuche bezeichnet wird. Der Vakuumgrad beeinflusst direkt den Beschichtungseffekt, daher ist die Lecksuche wichtig .

Im Allgemeinen wird Luftleckage in der Vakuumkammer von einigen kleinen Löchern an der Wand der Kammer oder den Verbindungsgelenken vor den Komponenten erzeugt. Nachdem das System abgepumpt wurde, wurde der Druck in der Vakuumkammer verringert. Die Druckdifferenz zwischen dem Äußeren und dem Inneren bewirkt, dass das Gas von außen mit hohem Druck zu der Vakuumkammer mit niedrigem Druck strömt, was zu einem verringerten Vakuumgrad führt.

Die Vakuumbeschichtungsanlage muss bei der Lecksuche auf die folgenden Probleme achten, um eine gute Lecksuche durchführen zu können.

1. Um die Leckage zu bestätigen, ob virtuelle Leckage oder reale Leckage. Da das Werkstückmaterial nach dem Erhitzen Gas in unterschiedlichen Graden erzeugt, ist es irrtümlich möglich, dass die Gasströmungen von außen hereinkommen, was die virtuelle Leckage ist, um diese Situation zu beseitigen .

2. Testen Sie die Gasdichtungsleistung der Vakuumkammer. Stellen Sie eine luftdichte Leistung sicher, um die Anforderungen zu erfüllen.

3. Überprüfen Sie Größe, Form, Position und Geschwindigkeit des Lecklochs, um eine Lösung vorzubereiten und zu implementieren.

4. Identifizieren Sie die minimale Leckrate und die Empfindlichkeit des Prüfgeräts, um die Leckagesituation maximal zu erkennen, vermeiden Sie, dass einige Lecklöcher ignoriert werden, und verbessern Sie die Genauigkeit der Lecksuche .

5. Kontrollieren Sie die Ansprechzeit und die Eliminierungszeit des Lecksuchers. Kontrollieren Sie die Zeit gut, stellen Sie sicher, dass der Lecksucher gut funktioniert, die Zeit ist kurz, der Lecksucheffekt ist definitiv schlecht, die Zeit ist lang, das Gas der Lecksuche und die Arbeitskosten sind verschwendet.

6. Vermeiden Sie undichte Löcher. Manchmal aufgrund der Operation Fehler, während der Leckerkennung Prozess, einige Staub oder Flüssigkeit, etc. stecken Sie die Leckage Loch, denken, dass es keine Leckage an dieser Stelle ist, aber wenn diese Stecker aufgrund der Differenz in internen und externen Druck oder andere Gründe, dass das Leckloch nicht blockiert ist, besteht Leckage.

Es ist sehr wichtig, Lecksuche für Vakuumbeschichtungsgeräte gut zu machen. Es gibt verschiedene Gründe für die Verringerung des Vakuumgrades, und wir müssen diese Gründe einzeln lösen, um den Effekt der Beschichtung zu stabilisieren.