Die Rolle des Wasserkühlers im Vakuumbeschichtungsprozess
Nov 10, 2018| Die Rolle des Wasserkühlers im Vakuumbeschichtungsprozess
Das Prinzip der Vakuumbeschichtung besteht darin, dass die Membran bei hoher Temperatur verdampft und auf die Oberfläche des Werkstücks fällt. Da die Luft der Verdampfung der Membranmoleküle widersteht, was zu einer Kollision führt, die die Kristalle rauer und stumpfer macht, muss sie unter Hochvakuum stehen, um die Kristalle so glänzend wie möglich zu machen . Die frühe Vakuumbeschichtung beruht auf der natürlichen Streuung des Verdampfers in Kombination mit einem geringen Wirkungsgrad und niedrigem Glanz. Nun wurden mit dem Zusatz eines mittelfrequenten Magnetron-Sputtertargets die Verdampfungsmoleküle der Membran beschleunigt, um das Target unter Einwirkung eines elektrischen Feldes zu bombardieren . Eine große Anzahl von Zielatomen wurde gesputtert und ein neutrales Zielatom (oder Molekül) wurde auf dem Substrat abgeschieden, um einen Film zu bilden.
Mittelfrequenzgeräte müssen wegen ihrer hohen Frequenz und ihres hohen Stroms mit Kühlwasser ausgestattet sein. Wenn der Strom durch den Leiter fließt, kommt es zu einem Skin-Effekt. Die Ladung sammelt sich im Oberflächenbereich der Leitfähigkeit an, wodurch die Leitfähigkeit heiß wird. Daher wird ein Medium-Loch-Rohr als Leiter verwendet und Wasser wird hinzugefügt, um den Leiter zu kühlen.
(hauptsächlich zylindrische Ziele) Warum Wasserkühlung?
Die hohe Temperatur des Magnetron-Zerstäubungsziels während des Schusses verformt die Pistole, so dass sie einen Wassermantel hat, um die Pistole zu kühlen. Es gibt auch einen wichtigen Grund, warum das Magnetron-Sputtern als eine der herausragendsten Errungenschaften der Beschichtungstechnologie angesehen werden kann. Es hat eine hohe Sputterrate, einen niedrigen Substrattemperaturanstieg und eine gute Film-Basis-Bindung.
Das allgemeinere Prinzip des Magnetron-Sputterns sowie die Querinhomogenität und Symmetrie des Magnetfelds sind die wesentlichen Gründe für die magnetische Beschränkung. Das Magnetron-Sputtern kann als eine der herausragendsten Leistungen in der Beschichtungstechnologie angesehen werden. Es hat eine hohe Zerstäubungsrate, einen niedrigen Substrattemperaturanstieg, eine gute Bindungskraft auf Filmbasis und eine stabile Vorrichtungsleistung.
Der Kühler ist eine Art Wasserkühlvorrichtung, die konstante Temperatur, konstanten Strom und konstanten Druck liefern kann. Sein Arbeitsprinzip besteht darin, eine bestimmte Menge Wasser in den Wassertank der Maschine einzuspritzen, das Wasser durch das Kühlsystem zu kühlen und dann das Niedertemperatur-Kühlwasser in die Ausrüstung zu leiten, die von der Pumpe gekühlt werden soll. Das gekühlte Wasser nimmt die Wärme ab, erhöht dann die Temperatur und kehrt zum Wassertank zurück, um einen Kühleffekt zu erzielen. Die Kühlwassertemperatur kann automatisch entsprechend der Anforderung angepasst werden.
Die Kaltwasserfunktion steuert die Temperatur der Vakuumbeschichtungsmaschine, um die hohe Qualität der Beschichtung sicherzustellen. Wenn es nicht mit einer Kaltwassermaschine ausgestattet ist, kann die Vakuumbeschichtungsmaschine den Zweck einer hohen Genauigkeit und eines hohen Wirkungsgrads nicht erreichen, da die natürliche Wärmeabgabe von Wasser und Turm unvermeidlich von der natürlichen Temperatur beeinflusst wird und diese Art der Steuerung instabil ist.
Kaltwassermaschine verfügt über ein völlig unabhängiges Kühlsystem, das nicht durch Temperatur und Umgebung beeinflusst wird. Die Wassertemperatur im Bereich 5 bis 30 ist einstellbar. Damit erreichen Sie den Zweck der Temperaturregelung und hohe Präzision, hohe Effizienz und Kaltwassermaschine Wasserrecycling-System.
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