Die Hauptleistung der DLC-Beschichtung

Die Hauptleistung der DLC-Beschichtung

1. Die Härte und der Elastizitätsmodul von DLC-Filmen, die mit verschiedenen Abscheidungsmethoden hergestellt werden, variieren stark. DLC-Filme mit einer Härte, die so hoch oder sogar höher als die von Diamant ist, können durch die Magnetfilter-Kathodenbogenmethode hergestellt werden, und die Härte von DLC-Filmen, die durch die Kathodenbogenmethode hergestellt werden, kann 50 GPa darüber erreichen, während die Härte von DLC-Filmen, die durch eine Ionenquelle in Kombination mit hergestellt werden, erreicht wird Ein Nichtgleichgewichts-Magnetron-Sputterverfahren beträgt bis zu 21 GPa, die Zusammensetzung der Filmschicht hat einen gewissen Einfluss auf die Härte der Filmschicht. DLC-Film hat einen hohen Elastizitätsmodul, der niedriger als der von Diamant (1100 GPa), aber offensichtlich höher als der von allgemeinem Metall und Keramik ist. b. Die innere Spannung und die Bindungsstärke der Folie sind zwei wichtige Faktoren, die die Stabilität und Lebensdauer der Folie bestimmen und die Leistung der Folie beeinflussen. DLC-Folien mit hoher Eigenspannung und geringer Bindungsfestigkeit können bei der Anwendung leicht Risse und Falten bilden oder sogar abfallen. Daher wird empfohlen, dass der vorbereitete DLC-Film eine moderate Druckspannung und eine hohe Klebefestigkeit aufweist. Die meisten Studien zeigen, dass die Film-/Basis-Bindungsfestigkeit von DLC-Filmen, die direkt auf der Matrix abgeschieden werden, im Allgemeinen gering ist und dass die Methode der Ti/TiN/TiCN/TiC-Zwischengradienten-Übergangsschicht angewendet wird, um die DLC-Bindungsfestigkeit zwischen dem Film und dem zu verbessern Die Matrix beträgt 44N-74N, und die Gesamtdicke der Filmleitfähigkeit kann 5 Mikrometer erreichen.

2. Reibungseigenschaften Der DLC-Film verfügt nicht nur über eine hervorragende Verschleißfestigkeit, sondern auch über einen sehr niedrigen Reibungskoeffizienten, der im Allgemeinen unter 0,2 liegt. Dies ist ein modifizierter Film mit ausgezeichneter Oberflächenverschleißfestigkeit. Der Reibungskoeffizient von DLC variiert je nach Vorbereitung Prozess und die Zusammensetzung im Film, mit einem niedrigen Reibungskoeffizienten bis zu 0.005. Die Dotierung von Metallelementen kann den Reibungskoeffizienten verringern, die Zugabe von H kann jedoch die Schmierwirkung verbessern, und auch die Umgebung hat einen gewissen Einfluss auf den Reibungskoeffizienten. Im Allgemeinen unterscheiden sich DLC-Filme jedoch von herkömmlichen Hartfilmen (wie oben erwähntes TiN, TiC, TiAlN usw.) und haben offensichtliche Vorteile im Reibungskoeffizienten. Der Reibungskoeffizient dieser herkömmlichen Hartfilme liegt über 0,4, sodass DLC-Filme ersetzt werden können Diese traditionellen harten Filme werden in vielen Bereichen der Tribologie eingesetzt.

3. Thermische Stabilität Da DLC ein metastabiles Material ist, ist eine geringe thermische Stabilität begrenzt. Ein wichtiger Faktor für die Anwendung von DLC-Filmen ist, dass der Übergang von der SP3-Bindung zur SP2-Bindung beim Glühen über 300 Grad auftritt. Daher wurde viel Arbeit geleistet, um die thermische Stabilität von DLC-Filmen zu verbessern. Untersuchungen haben ergeben, dass die Zugabe von Si die thermische Stabilität von DLC-Filmen mit 20 AT-Prozent Si erheblich verbessern kann. Der Übergang von der SP3-Bindung zur SP2-Bindung erfolgt nur, wenn der Film bei 740 Grad getempert wird. Ebenso kann die Zugabe von Metallen (z. B. Ti W Cr) die thermische Stabilität von DLC-Filmen verbessern. Wir forschen zu diesem Aspekt.

4. Korrosionsbeständigkeit Reine DLC-Folie weist eine ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit auf, die durch alle Arten von Säuren und Laugen und sogar durch Aqua Aqua Aqua nur schwer erodiert werden kann. Die Korrosionsbeständigkeit von DLC-Folien, die mit anderen Elementen dotiert sind, ist jedoch verringert, weil die dotierten Elemente es sind zuerst erodiert und so die Kontinuität des Films zerstört.

5. Oberflächenzustand Die Oberfläche des DLC-Films ist im Allgemeinen glatt und sauber, was keinen großen Einfluss auf die Oberflächenbeschaffenheit des Substrats hat. Mit zunehmender Filmdicke nimmt jedoch das Oberflächenlicht ab. Auch die Oberflächenbeschaffenheit von DLC-Filmen, die durch verschiedene Abscheidungsmethoden erhalten werden, ist unterschiedlich, und die Oberflächenqualität von DLC-Filmen, die durch Ionenquellentechnologie abgeschieden werden, ist offensichtlich besser als die von ARC-Ionenplattierungs-DLC. Der Film weist eine gute Adhäsionsbeständigkeit auf, insbesondere gegenüber Nichteisenmetallen (wie Kupfer, Aluminium, Zink usw.) weist auch eine Haftungsbeständigkeit auf Kunststoff, Gummi, Keramik usw. auf

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