Die Eigenschaften der Vakuummessung

1. Druckmessbereich: 10 ⁵ ~ 10 ^-14 Pa.

2. Der größte Teil des Vakuummessgeräts ist eine indirekte Messung, und die Kraft der Einheitsfläche kann nur direkt gemessen werden, wenn der Druck 10 ⁵ bis 10 Pa beträgt. Allerdings ist die meisten Vakuum-Messdruck ist kleiner als die oben genannten, kann nicht direkt gemessen werden, sollten einige Merkmale des Gases unter niedrigem Druck (wie Wärmeleitung, Viskosität und Ionisierung, etc.) für die indirekte Messung verwendet werden.

3. Nicht-elektrische Messtechnik wird angenommen. Aufgrund der nicht-elektrischen Messtechnik mit hoher Empfindlichkeit können schnelle Reaktionen, automatische und weitreichende Messungen erreicht werden, die meisten Vakuummeter mit dieser Methode. Ein elektronisches Vakuummessgerät besteht aus zwei Teilen eines Vakuummessgeräts und einer elektronischen Messschaltung (Kontroll- und Anzeigeeinheit). Das Messgerät ist ein sensibles Element. Er wandelt den Gasdruck der nicht elektrischen Größe in ein elektrisches Signal um, indem er einige Eigenschaften des Gases unter niedrigem Druck verwendet, und verstärkt dann und gibt das elektrische Ausgangssignal des Messgeräts durch die Messschaltung aus. Bei Bedarf wird das Ausgangssignal an den automatischen Schreiber und die automatische Steuerungsausrüstung gesendet, um die Automatisierung der Vakuumausrüstung zu realisieren. Die Anforderungen zur Umwandlung von nichtelektrischem Druck in elektrische Ladung werden von der Steuereinheit der Messschaltung bereitgestellt.

4. Die Messwerte einiger Vakuummeter hängen von der Art und Zusammensetzung des Gases ab. Daher sollte bei der Messung die Art und Zusammensetzung des Gases während der Messung besonders berücksichtigt werden. Andernfalls wird ein großer Fehler verursacht.

5. Messgenauigkeit ist nicht hoch. Bei der indirekten Messung des Drucks wird oft zusätzliche Energie benötigt, um zu helfen. Die externe Energie kann thermische Energie, elektrische Energie, mechanische Energie und radiologische Energie sein. Auf diese Weise wird der Messfehler unvermeidlich gleichzeitig mit dem Einbringen der angewandten Energie eingeführt. Daher ist die Genauigkeit des Vakuummessgeräts geringer als die anderer physikalischer Messinstrumente.