Ziele für das Sputtern der Beschichtung von elektronischen Produkten
Jun 07, 2018| Elektronische Produkte werden in allen Bereichen des Lebens verwendet. Die meisten dieser elektronischen Produkte müssen beschichtet werden, bevor sie auf den Markt kommen. Jetzt ist die allgemein verwendete Vakuumbeschichtungsausrüstung Magnetronsputternvakuumbeschichtungsmaschine. Und üblicherweise sind die Ziele, die beim Sputtern verwendet werden, hauptsächlich drei Arten: Metalltargets, Legierungstargets und Verbundtargets.
Es gibt viele Zielmaterialien für HDDs. Ein Mehrschichtfilm wird auf die Aufzeichnungsoberfläche aufgebracht und jeder Film hat seine eigene Funktion. An der unteren Schicht wird ein 40 nm dicker Chrom- oder Chromlegierungsfilm aufgetragen, um die gute Haftung und die hohe Korrosionsbeständigkeit zu verbessern. Ein 15 nm dicker Kobalt-Chrom-Legierungsfilm wird dann in der Mitte plattiert, und ein 35 nm dicker Kobaltlegierungsfilm wird als ein magnetisches Material beschichtet, das vollständig magnetische Eigenschaften und geringe Interferenzeigenschaften aufweisen kann. Schließlich wird eine 15 nm dicke Kohlenstoffschicht aufgetragen.
Das Sputtertarget für den Magnetkopf ist üblicherweise eine Eisen-Nickel-Legierung, und später wurden einige neue Verbindungsmaterialien wie Eisennitrid, Antimonnitrid, Aluminiumnitrid usw. verwendet. Dies sind alles hervorragende magnetische dielektrische Filmtargets.
CD-Disks werden mit Aluminiumfilm als reflektierende Schicht auf dem Kunststoffwerkstück beschichtet, aber für CDROM und DVDROM kann Aluminiumfilm nicht funktionieren, da auf diesen Disks eine Farbstoffschicht vorhanden sein wird, das obige Material hat ein gewisses Maß an Korrosivität für Aluminium und es wird im Allgemeinen durch einen Goldfilm oder einen Silberfilm ersetzt.
Die Beschichtung der optischen Platte besteht ebenfalls aus mehreren Schichten. Die 30 nm dicke Eisen-Kobalt-Legierungs-Aufzeichnungsschicht, die auf die Farbstoffschicht aufgetragen ist, enthält ein amorphes Seltenerd-Übergangselement, und dann wird eine 20 bis 100 nm dicke Siliciumnitrid-Dielektrikumschicht darauf aufgebracht. Schließlich wird eine reflektierende Aluminiumschicht beschichtet.
Diese elektronischen Produkte erfordern eine magnetische Leistung, um Daten aufzuzeichnen, und dies wird durch Sputtern der Beschichtung mit einer Vielzahl von unterschiedlichen Materialien erreicht.
