Sputtering Coating Prozesskonzept
Aug 14, 2020| Sputtering Coating Prozesskonzept
Die sogenannte Sputterbeschichtung bezieht sich auf die Methode der Folienherstellung, indem das Zielmaterial mit energiegeladenen Teilchen (z.B. positiven Ionen) in einer Vakuumkammer bombardiert wird, so dass die Atome oder Gruppen auf der Oberfläche des Zielmaterials entweichen können. Die entwichenen Atome bilden auf der Oberfläche des Werkstücks einen Film mit der gleichen Zusammensetzung wie das Zielmaterial. Diese Methode der Herstellung von Folien wird Als Sputterbeschichtung bezeichnet. Derzeit wird das Sputterverfahren hauptsächlich zur Herstellung von Metall- oder Legierungsfolien eingesetzt, insbesondere zur Herstellung von Elektroden- und Glasoberflächen-Infrarotreflektorfolien. Darüber hinaus wird auch das Sputtern zur Herstellung von Funktionsfolien verwendet, wie z. B. in2O3-sno2 transparente leitfähige Keramikfolien in Flüssigkristall-Anzeigegeräten.
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