Druckabfallkurvenanalyse - Bestimmen Sie, ob im Vakuumsystem ein echtes Leck vorhanden ist
Mar 26, 2025| Druckabfallkurvenanalyse - Bestimmen Sie, ob im Vakuumsystem ein echtes Leck vorhanden ist
Historische Vakuumsystemdaten sind eines der wertvollsten Instrumente, um die Leistung großer Vakuumsysteme zu verstehen. Erfahrene Techniker behalten historische Daten sorgfältig auf, indem sie die aktuelle Druckabfallkurve mit dem vorherigen Zyklus vergleichen, wenn sich das System in gutem Zustand befindet, kann die Ursache des Problems schnell bestimmen. Wenn Sie beispielsweise die in der folgende Abbildung gezeigte Druckabfallkurve betrachten, können Sie feststellen, ob ein Leck vorliegt. Die Prozessbedingungen unter dem Zustand einer unveränderten und vakuumpischen Pumpe, die normal läuft, verursacht bei realer Leckage die Leckage von außen in die Gaskammer als der normale Hohlraumdruckabfall, um die Position des Drucks auf der hohen Seite zu begrenzen, wenn er nicht mehr sehr langsam fällt, und die Druckabfallkurve ähnelt der oberen Kurve. Deflatter oder virtuelles Leck existiert, das Gas freisetzt langsam und die Luftzufe ist immer kleiner. Das System kann den ursprünglichen Zeitgrenzedruck erreichen, begrenzt jedoch deutlich langsamer, aber die Druckabfallkurve ähnelt der Mitte dieser Kurve.
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