PECVD-Plasmaverstärkte chemische Gasphasenabscheidung

PECVD__Plasmaverstärkte chemische Gasphasenabscheidung

Plasma: Gas unter bestimmten Bedingungen durch Hochenergieanregung, Ionisierung, ein Teil der äußeren Elektronen aus dem Kern, wodurch eine Mischung aus Elektronen, positiven Ionen und neutralen Teilchen gebildet wird, die aus einer Form bestehen. Diese Form wird als Plasmazustand bezeichnet und ist der vierte Zustand .

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